[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 _"!{7e`Z  
( X 'FQ  
Iz?Wtm }  
jO&f*rxN  
建模任务 ?%dCU~ z  
S?nNZW\6[  
_N,KHxsG8B  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) D;^ZWz0  
     fb0T/JTw  
某一位置的Talbot图样 VJl &Bq+  
XuFm4DEJ  
c;21i;&,9  
   *]:G7SW{  
某一位置的Talbot图样 s;_#7x#  
7<R6T9g  
LTYuxZ  
1RI#kti-"  
不同位置的Talbot图样 nF. ;LM  
neB.Wu~WH  
Ql#W /x,e  
b#Fk>j  
不同位置的Talbot图样 Q_dXRBv=n  
^b"
x|8  
do=x9k@Q  
{m+S{dWp  
沿Z轴的强度 lrmt)BLoh  
[]=FZ`4  
6zp@#vYI  
;Z!~A"~$>
 
走进VirtualLab Fusion F;?TR[4!k  
1&8j3"  
m0BG9~p|  
     ,<;l"v(  
VirtualLab Fusion的工作流程  +eDN,iv  
$vgmoJ@X0  
 构建光栅结构 ,);= (r9  
K'iS#i7  
++T "+p  
     Ersr\ZB  
 通过参数运行计算不同位置的强度 d739UhKC  
gfdPx:7^  
     vy{rwZ$  

LM"W)S  
     xI`Uk8-8  
VirtualLab Fusion技术 @wYQLZ  
Xa{~a3Wy