[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Ah_Ttj  
UP8=V>T02  
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建模任务 Q#,j,h
 
#fuc`X3:HL  
Qd{h3K^hlu  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) SEL7,8 Hm  
     k=7+JI"J  
某一位置的Talbot图样 U#7moS'r  
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   ZjOUk;H
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某一位置的Talbot图样 jP{W|9@(  
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不同位置的Talbot图样 R3[H#*gF<  
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不同位置的Talbot图样 :'t+*{ff  
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沿Z轴的强度 1Ar6hA  
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走进VirtualLab Fusion -%h0`hOG{  
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     EE^ N01<"\  
VirtualLab Fusion的工作流程 R24ZjbKL  
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 构建光栅结构 M[Kk43;QY!  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 B
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VirtualLab Fusion技术 Yy_o*Ozq  
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