[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 GR/ p%Y(  
CT/`Kg_  
Ur_~yX]Mo  
@;pTQ 5 I  
建模任务 g,\<fY+4  
H1+
G:TM  
GQq2;%RrF  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 9kT
U|py  
     OD{Rh(Id  
某一位置的Talbot图样 u"nyx0<  
XmLHZ,/  
Tf` ~=fg%  
   7GpSWM6  
某一位置的Talbot图样 8$S$*[-a  
[5>0om5  
`*N2x\+X  
=xg pr*   
不同位置的Talbot图样 9^XT,2Wwf  
YYN=`ST  
_ u/N#*D  
H;|^z@RB<  
不同位置的Talbot图样 rT <=`9^{  
fZ$8PMZv  
VDBP]LRF  
!DXKn\aQf  
沿Z轴的强度 %*zgN[/w  
*SLv$A  
I@e{>}  
/=i^Bgh4  
走进VirtualLab Fusion d-lC|5U%  
LC2t,!RRl&  
L=?Yc*vg  
     PO1sVP.S  
VirtualLab Fusion的工作流程 t\S}eoc  
M
{1't  
 构建光栅结构 u<:
RSg  
M{Wla7  
NbSkauF~b  
     t /1KKEZM  
 通过参数运行计算不同位置的强度 ohOze\T)=  
C([TolZ  
     ["kk.*&  
xbSix:R=Z  
     *q\Ve)E}  
VirtualLab Fusion技术 ,_D`0B6o  
[YLaRr