[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 4uu*&B  
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建模任务 Q`//
HOM,  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 94a_ W9  
     ED$gnFa3I  
某一位置的Talbot图样 `nizGg~1  
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   O!j@8~='  
某一位置的Talbot图样 G
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不同位置的Talbot图样 _n_i*p '2  
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不同位置的Talbot图样 FCP5EN  
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沿Z轴的强度 Z7f~|}  
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走进VirtualLab Fusion V2y[IeSQ  
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     K{iayg!k  
VirtualLab Fusion的工作流程 tou^p-)GQ|  
utTek5/  
 构建光栅结构 TxiJ?sDh*  
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     \UC4ai2MK  
 通过参数运行计算不同位置的强度 '*-SvA\Cx  
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NKGCz|- 9  
     K:Ap|F  
VirtualLab Fusion技术 

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