[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Eh"Y<]$  
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建模任务 YG>E
op  
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C3 m_sv#e  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) [y<s]C6E  
     M2.*]AL  
某一位置的Talbot图样 Z(J 1A x  
Exat_ L'
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\`8F.oZ^)  
   !'>#!S~h3  
某一位置的Talbot图样 g](&H$g  
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不同位置的Talbot图样 0+A#k7c6p  
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不同位置的Talbot图样 26j-1c!NGd  
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沿Z轴的强度 Mv7tK l  
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走进VirtualLab Fusion t"6u  
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VirtualLab Fusion的工作流程 rE\&FVx  
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 构建光栅结构 *#'&a(hB!  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 3LVL5y7|  
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VirtualLab Fusion技术 g;y*F;0@  
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