在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。
yIM.j;5:~5 ngtuYASc 
,ZLG 7e 7 _X&5ni 建模任务 ;D6x=v=2 $z~jnc 
cq- e
c7 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
F %w\D9+P Rc;1Sm9\ 某一位置的Talbot图样 %?U"[F1
<m-Ni
"4J?JR 1x^W'n,HtK 某一位置的Talbot图样 4da ^d9ZOy
g-4gI\
Fmy1nZ ?*B;514 不同位置的Talbot图样 = ?y^O0v
_SU,f>
Ir'DA_.. @G^j8Nl+J} 不同位置的Talbot图样 37.) @
/&y,vkZTT
5%vP~vy_} /DgT1^&0 沿Z轴的强度 D N2hv2
(gs`=H*d;
_N[^Hl`\ {X{01j};8 走进VirtualLab Fusion UHTb 61Gs
s?1-$|*
0j-F6a*p'1 Pl`Bd0 VirtualLab Fusion的工作流程 roK4RYJ7) ?S;et2f 构建
光栅结构 !XG/,)A BV_a-\Sa= ee__3>H"/ $~;6 hnr m 通过参数运行计算不同位置的强度
|V*e2w (7
] \p ;h*"E(P p 
{|t ? bCe[nmE2 VirtualLab Fusion技术 /i7>&ND.r
X"]mR7k
