[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 [yj).*0  
~8aJ S,u  
T;L>P[hNn  
WL+]4Wiz  
建模任务 TPhTaKCio  
XlI!{qj|  
>R/$1e1Y  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) b3YO!cJ  
     n&MG7`]N  
某一位置的Talbot图样 )etmE  
5sPywk{  
&uUo3qXQ5l  
   8P: Rg%0)  
某一位置的Talbot图样 =uDgzdDyE  
 fI\
9\x  
`"@X.}\  
_lW+>xQ  
不同位置的Talbot图样  'Pvm8t  
.Wi{lt  
fJZp?e"  
fIF<g@s  
不同位置的Talbot图样 e4FM} z[  
wB>r(xQ'  
Il.Ed-&62  
rw
)kAe31  
沿Z轴的强度 y$81Zq  
#}^-C&~  
`MP|Ovns:H  
VDB;%U*D  
走进VirtualLab Fusion n]+W 3[i  
4lKVY<  
-yDs< Xl  
     t?nX=i*~]  
VirtualLab Fusion的工作流程 r3rxC&  
juBw5U<  
 构建光栅结构 G,=yc@uq  
TO,rxf  
Y,8KPg@W  
     ,%bhyww<  
 通过参数运行计算不同位置的强度 [~D|peM3  
I &*_,d  
     ?t@v&s  
hl&-\dc+  
     +MK6zf  
VirtualLab Fusion技术 aj,)P3DJu  
^BZkHAp