[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 8am`6;O:!  
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建模任务 {xcZ*m!B  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) rk2xKm^w  
     |Q~cX!;  
某一位置的Talbot图样 ?q2j3e[>  
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某一位置的Talbot图样 "kMzmo=Pv5  
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不同位置的Talbot图样
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不同位置的Talbot图样 !H][LXB~H  
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沿Z轴的强度 XhzGLYb~I`  
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走进VirtualLab Fusion gxPx&Z6jF  
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     W|k0R4K]]  
VirtualLab Fusion的工作流程 23(=Xp3;>  
gCd`pi 8  
 构建光栅结构 aMARZ)V  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 D-imL;|  
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     C) QKPT  
VirtualLab Fusion技术 et,GrL)l  
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