在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
231,v,X[ .P#+V$qhv
;_6CV cVf}8qf) 建模任务 *LOUf7` x^V9;V@6
]t)#,'$^[W 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
AD>X'J
u8 TfnBPO 某一位置的Talbot图样 v[XTH 2
]L/AW
[BZA1, U+ANSW/ 某一位置的Talbot图样 k];NTALOG
FNR<=M
=-%10lOI ?F"mZu 不同位置的Talbot图样 x2h5,.K
cnraNq1
C3:CuoE X !4mg]~G 不同位置的Talbot图样 V.|#2gC]t
.C\##
+rFAo00E| c-oIP~, 沿Z轴的强度
{,+MaH
NbPNcjPL
W,fXHYst 8;v/b3 走进VirtualLab Fusion GV0-"9uwX~
gGE&}EoLU
`M[o.t d6f+[<< VirtualLab Fusion的工作流程 wfQ^3HL "I,=L;p 构建
光栅结构 qAW?\*n5N 5>\~jf S!8gy,7<J `e4gneQY 通过参数运行计算不同位置的强度
Fk#$@^c@ e#odr{2#4u 0b(x@>
@@V{W)rl ;~-M$a
}4 VirtualLab Fusion技术 C K9FAuU
.R]DT5