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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 231,v,X[  
    .P#+V$qhv  
    ;_6 CV  
    cVf}8qf)  
    建模任务 * LOUf7`  
    x^V9;V@6  
    ]t)#,'$^[W  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) AD>X'J u8  
         TfnBPO  
    某一位置的Talbot图样 v[XTH 2  
    ]L/AW  
    [ BZA1,  
       U+ANSW/  
    某一位置的Talbot图样 k];NTALOG  
    FNR<=M  
    =-%10lOI  
    ?F" mZu  
    不同位置的Talbot图样 x2h5,.K  
    cnraNq1  
    C3:CuoE X  
    !4mg]~G  
    不同位置的Talbot图样 V.|#2gC]t  
    .C\##   
    +rFAo00E|  
    c-oIP~,  
    沿Z轴的强度 {,+MaH  
    NbPNcjPL  
    W,f XHYst  
    8;v/b3  
    走进VirtualLab Fusion GV0-"9uwX~  
    gGE&}EoLU  
    `M[o.t  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 wfQ^3HL  
    "I,=L;p  
     构建光栅结构 qAW?\*n5N  
    5 >\~jf  
    S!8gy,7<J  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 Fk#$@^c@  
    e#odr{2#4u  
         0b(x@>  
    @@V{W)r l  
         ;~-M$a }4  
    VirtualLab Fusion技术 CK9FAuU  
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