[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >2-F2E,  
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建模任务 w6,*9(;$Pk  
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P1d,8~;  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) z%2w(&1  
     Jh2Wr!5  
某一位置的Talbot图样 DzDj)7  
X=_Z(;<&  
:0Te4UE;P7  
   =:5<{J OG  
某一位置的Talbot图样 &:vscOl  
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不同位置的Talbot图样 T Oy7?;|=  
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不同位置的Talbot图样 Mvof%I  
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沿Z轴的强度 b>=7B6 Aw  
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走进VirtualLab Fusion a!u3HS-i  
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VirtualLab Fusion的工作流程 7|~:P$M  
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 构建光栅结构 GN%<"I.  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 j];G*-iv{  
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VirtualLab Fusion技术 8_awMVAy  
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