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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 >2-F2E,  
    ;( K MGir  
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    @5Qoi~o  
    建模任务 w6,*9(;$Pk  
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    P1d,8~;  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) z%2w(&1  
         Jh2Wr!5  
    某一位置的Talbot图样 D zDj)7  
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    不同位置的Talbot图样 T Oy7?;|=  
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    不同位置的Talbot图样 Mvof%I  
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    KM5 JZZP  
    沿Z轴的强度 b>=7B6 Aw  
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    走进VirtualLab Fusion a!u3 HS-i  
    A+2oh3  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 7|~:P $M  
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     构建光栅结构 GN%<"I.  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 j];G*-iv{  
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    VirtualLab Fusion技术 8_awMVAy  
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