全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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T+"f]v b|^I<7 建模任务 8U~.\`H-PT 9T2xU3UyY
0Flu\w/+P pw>m.=9|y 光栅角透射率分析(5°设计) Hr;h4J
S_J :&9L
,S[K{y< uMXc0fs!$ 光栅角透射率分析(10°设计) 3bC
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bv?0.{Z OKuD" 原始分束DOE系统 U`R;P-
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g=]&A E|Bd>G 体光栅的角滤波效应 c $;\i
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1uG=`k8'k -Q$nA>trKA 体光栅的角滤波效应 fhp)S",
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7-iIay1h" wV<7pi 仿真设置注意事项 <SXZx9A!
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ESQ!@G/n FMM/RCWA仿真设置
.e[Tu|qo - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
D\L!F6taS - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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;==| VirtualLab Fusion的工作流程 SPy3~Db-o ?#[)C=p]z 使用特殊介质构建光栅
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系统的光栅建模
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