全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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} a!HbH ,7;euV5X 建模任务 EME}G42KN 2>)::9e4
NW`Mc& db.~^][k 光栅角透射率分析(5°设计) yY!@FGsA
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pwl7aC+6d B-wF1!Jv 光栅角透射率分析(10°设计) Q
822 #
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ue -a/a w}?,N 原始分束DOE系统 GK{~n
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58]t iP" vkLyGb7r< 体光栅的角滤波效应 gyobq'o-
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@1V?94T1 nM`pnR_ 仿真设置注意事项 `rpmh7*WV
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F ZN}T{< FMM/RCWA仿真设置
B~%SB/eu - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
nr%P11U\c - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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LGWQBEXw Pk^V6- VirtualLab Fusion的工作流程 nz Klue p+Fh9N<F9 使用特殊介质构建光栅
结构 1t7T\~+F :~~\{fm :Y4G^i 体光栅的严格分析
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{sg XW*d\vDun 复杂
系统的光栅建模
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l(~NpT{=V :D:J_{HJ VirtualLab Fusion技术 8zpTCae^=7
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