全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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}l/md/C0 z#\Z|OKU 建模任务 fT@#S}t !pN,,H6Y
e*g; +nz Qh *|mW 光栅角透射率分析(5°设计) "<&F=gV
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|9%>R* "L,FUo^& 光栅角透射率分析(10°设计) *yf+5q4t
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6^zv:C% -r,J>2`l 原始分束DOE系统 `)%eU~
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E`X+fJx hcBfau; r 体光栅的角滤波效应 p5bH-km6
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1xx-}AIH# c_".+Fa 仿真设置注意事项 % va/x]K
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<1@_MYo FMM/RCWA仿真设置
:l6sESr - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
Y,0O&'> - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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Bb1dH/8 GoF C!nx VirtualLab Fusion的工作流程 jR48.W gy>2=d 使用特殊介质构建光栅
结构 G U!XD!!& !WY@)qlf iWvgCm4 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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