全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
*4Y1((1k 2B3H-`
RlyF#X#7{ b/5?)!I 建模任务 Ovv~ymj ]C3{ _?=
HsGXb\ iUFS1SN \ 光栅角透射率分析(5°设计) %N7b
XKDP
Bab`wfUve
fAm^-uq[ SGre[+m~m 光栅角透射率分析(10°设计) O;9u1,%w
I!dA{INN
;"-(QE?Mv UX;?~X 原始分束DOE系统 fPZt*A__
U748$%}]
v{Al>v}}n No>XRG+ 体光栅的角滤波效应 )o;/*h%@
Xt^ldW
I;<0v@ s]50Y-C 体光栅的角滤波效应 !?Gt5$f
+w[vYKSZm
z85%2Apd m~'! 仿真设置注意事项 KV9'ew+M
#( F/P!qk
@X+m,u FMM/RCWA仿真设置
_VGAh:v - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
0_q8t!<xJw - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
:m]~o3KRy
7DDd1"jE U(P^-J<n1 走进VirtualLab Fusion 6=U81
NY
756B*
aUa.!,_dh ug{@rt/"Z VirtualLab Fusion的工作流程 %V71W3>6WS qq.M]?Z 使用特殊介质构建光栅
结构 1DgRV7 g"ha1<y< `-W.uOZ0 体光栅的严格分析
`qnp 7aRtw:PQn <*EMcZ 复杂
系统的光栅建模
Swz{5 J2C 6!zBLIYFI fb-Lp#!T39
">cLPXX G%^jgr) VirtualLab Fusion技术 ~k\Dde
V[ju7\>$Z
g%Bh-O9\