全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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C R|lt )+Oujt 建模任务 nF5qw>t# 3 LdQ]S
fJWC)E wRrnniqf8 光栅角透射率分析(5°设计) 7L^%x3-|&
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pZU9^Z?~6 ~l2aNVv; 光栅角透射率分析(10°设计) UswZG^Wh
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Ks\ NE=;5 ~g7l8H67 原始分束DOE系统 f}D1|\7
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b2@VxdFN nW|wY. 体光栅的角滤波效应 " ZX3sfkh
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]<n%, RQFI'@Ks 仿真设置注意事项 _`#3f1F@[
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P+)DsZ0ig FMM/RCWA仿真设置
Wpc|`e< - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
{3!E4"p - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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< VirtualLab Fusion的工作流程 vF?5].T 3<F </ 使用特殊介质构建光栅
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\A(9u* VAC iVKk 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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