全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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o,{]<Sm -@.FnFa 建模任务 &.P G2f* z-h?Q4;
\4>& zb4 e <+b?@}=B 光栅角透射率分析(5°设计) x|)pZa
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ubMN ?*'0;K13 光栅角透射率分析(10°设计) A[m<xtm5K
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<7`U1DR= Hp[i8PJ 原始分束DOE系统 ,JfP$HJ
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sK8sxy nK#%Od{GF 体光栅的角滤波效应 <MoyL1=
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o $'K}U (6&"(}Pai 体光栅的角滤波效应 *bUOd'vh
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X6xs@tgQ [}dPn61 仿真设置注意事项 FcyFE~>2
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3AAciMq} FMM/RCWA仿真设置
t :~,7 - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
MHJRBn{} - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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j`f^^\HJ VirtualLab Fusion的工作流程 c/V0AKkS
8 u#NX`_ 使用特殊介质构建光栅
结构 zL9:e7o vOv"^X ^tIYr<I 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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