全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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A|YiSwyy fd$nAE 建模任务 $8}'h OlP1Zd/l
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z\8Bp}yo Rj3ad 3z'E 光栅角透射率分析(5°设计) '^`iF,rg
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Va[t'%~&zR >XxHp 光栅角透射率分析(10°设计) 5Od&-~O
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1zgM$p E24j(> 原始分束DOE系统 k$GtzjN
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2 体光栅的角滤波效应 jq%}=-%KE
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%aV~RB# izzX$O[=: 仿真设置注意事项 Y]7 6y>|e
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@}2EEo# FMM/RCWA仿真设置
>pp#>{} - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
-@ra~li,yQ - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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a?xZsR &*745,e VirtualLab Fusion的工作流程 q0DRT4K )7p(htCz5 使用特殊介质构建光栅
结构 z,bK.KFSs -{q'Tmst K>C@oE[W 体光栅的严格分析
SSq4KFO1 [b_qC'K[ Fy0sn| 复杂
系统的光栅建模
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