全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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XtXEB<4Z yd^{tQi 建模任务 m.JBOq= =qoWCmg"&
7G:s2432 "$~':) V" 光栅角透射率分析(5°设计) dWM'fg
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c CSs >] qc-{>& 光栅角透射率分析(10°设计) !lREaSM
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jk"`Z<j~ OtY`@\hy 原始分束DOE系统 xVf|G_5$
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\(J8#V $Ad{Z 体光栅的角滤波效应 jG6]A"pr
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F;>V>" edl iMt:9|yF}8 体光栅的角滤波效应 00<cYy
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wJg1Y0nh t#yk->, 仿真设置注意事项 (ScxLf=]
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214Ml0/% FMM/RCWA仿真设置
7@#>bE6 - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
Qf58ig-vCY - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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[N FFB96 8{Q<N%Jnu VirtualLab Fusion的工作流程 >@BnV{ d cy*?&~; 使用特殊介质构建光栅
结构 jy7\+i a! (4Ch sJ\BF 体光栅的严格分析
<3(LWxw +_7*iJtD5 C#QpQg2 复杂
系统的光栅建模
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