全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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iu**`WjI\ }'r[m5T 建模任务 ]v[|B x@mL $
,F&g5' f>'Y(dJ'W 光栅角透射率分析(5°设计) A5,t+8`aci
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a 光栅角透射率分析(10°设计) zYXV;
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\xg]oKbn '|;X0fD 原始分束DOE系统 R.7 :3h
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R+gz<H.Q Q1V9PRZX 体光栅的角滤波效应 sNun+xsf^
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zMIT}$L +cb6??H 体光栅的角滤波效应 jYNrD"n
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B^).BQ rD>*j~_+P 仿真设置注意事项 G0E121`h
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$ d?.2Kg FMM/RCWA仿真设置
M$f7sx - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
`y#UJYXQE - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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j,]Y$B 1CLL%\V VirtualLab Fusion的工作流程 boG_f@dv( F R|&^j6 使用特殊介质构建光栅
结构 s+tGFjq HR}bbsqxVf _X?^Cy 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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