全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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dT?/9JIv 7jPPN 建模任务 U$-Gc[=| #e|G!'wdj
Gi]R8?M o/??w:' 光栅角透射率分析(5°设计) Ac{"$P`
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r~cc 光栅角透射率分析(10°设计) YGFE(t;lPU
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^Y[.-MJt+ oMey^]! 原始分束DOE系统 2%o@ ?Rp
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-|_#6-9 pe%$(%@v 仿真设置注意事项 nSR7$yS_
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JO3"$s|t FMM/RCWA仿真设置
pSMF1Oy - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
f0!i<9< - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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iG+hj:5 )DG>omCY VirtualLab Fusion的工作流程 _`|te|ccF e 97Ll=> 使用特殊介质构建光栅
结构 Ov<EOK+^ dC,a~`%O T- ~l2u|s 体光栅的严格分析
EjY8g@M;t 76 ]X ,76xa%k(U| 复杂
系统的光栅建模
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