全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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(h7 rW3 T5.1qr L 建模任务 _%w-y(Sqn HE(|x1C)j
>|WNsjkU% RoSh|$JF 光栅角透射率分析(5°设计) 5_ -YF~
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7 BusD}9QqB 光栅角透射率分析(10°设计) VlRN
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cOcF VPQ //]g78]=O 原始分束DOE系统 zm)
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/"+YE&>\ FMM/RCWA仿真设置
f9u ^/QVS& - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
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+6=m[ - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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系统的光栅建模
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