共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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z t1Q_; wsARH>Vz 2. 建模任务 c:bB4ch} TCYnErqk 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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Sa Nx;xgi O=fT;&%. 3. 聚焦区域的探测场 /[IK[
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&sW/r::, $KiA~l 4. 来自测试对象的直接反射 biJU r^n
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|(/"IS] 9'tM65K k;)L-ge9 5. 待测目标成的像 Lh+^GQ {Hb _o)S
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YC$pT @cx!m 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 b~|B(lL6Xm
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6};Sn/8 h'bxgIl'` 7. 走进VirtualLab Fusion `@ObM[0p( -~5yl}
ScI9.{ wxoBq{r; 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 XdB8Oj~~ {\%x{ i,~{{XS< 使用界面构造光栅
结构 m$4 Gm(Up FGZOn5U6' 复杂
系统中的光栅建模
!:>y.^O w<'mV^S 正确设置通道以进行多通道
仿真 y.>r>o"0 6S<pWR~ •使用
参数运行检查影响/更改
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!rXyw`6N L0|u^J 9. VirtualLab Fusion 技术 M]&9Kg3
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