共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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.28<tEf ;:iY) } 2. 建模任务 %]\kgRr __uA}fZp 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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rr/B=O7 ?}qttj 3. 聚焦区域的探测场 y@1+I~@
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i|c'Lbre` .GbX]?dN 4. 来自测试对象的直接反射 [m+2(I1
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AJt+p&I[J }I2wjO w}L]X1#sF 5. 待测目标成的像 md=TjMaY 1}S S+>`
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o\BOL3H V4hiGO[ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 wrviR
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8>d/ ksc;X$f&4 7. 走进VirtualLab Fusion Ha(c'\T(\ ,NOsFO-`<
ks&*O!h yUeCc"Vf 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 5c9^-|-T q6@Lp^f gK_Ymq5>"M 使用界面构造光栅
结构 ~Uj=^leYO &]g}u5J!= 复杂
系统中的光栅建模
%fc!2E9| tankR9(o 正确设置通道以进行多通道
仿真 jGJLSEe_ dFRsm0T •使用
参数运行检查影响/更改
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oNr-Q& C, Ua<5U5 9. VirtualLab Fusion 技术 3("_Z%
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