共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Qp kKVLi >JKnGeF 2. 建模任务 $` Z>Lm* +36H%&! 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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});cX$ pqyWv; 3. 聚焦区域的探测场 BIxV|\k
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4. 来自测试对象的直接反射 5^/,aI
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9W{,=.%MX$ r NxrQ H$z>OS_6U 5. 待测目标成的像 K0tV'Ml#" 2y3?!^$
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BZovtm3E .:w#&yM [U 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 )l`1)Ea~
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_*O7l 7. 走进VirtualLab Fusion P@qMJ}<j uQH%.A
d{er|$E? ).pO2lLF4 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 J'oDOn.M "6?lQw
e xDR9_ 使用界面构造光栅
结构 `TUZZz ZU=,f'bU 复杂
系统中的光栅建模
5\okU"{d7 b6 $,Xh 正确设置通道以进行多通道
仿真 b<[jaI0 3^{8_^I •使用
参数运行检查影响/更改
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\ jECSV| $j57LY|r 9. VirtualLab Fusion 技术 `YPe^!`$
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