共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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0]W x:iLBYf 2. 建模任务 ZmAo9>'Kg {4>N2mP{M 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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;1D T I78Q8W(5 3. 聚焦区域的探测场 -0>s`ruor
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"m" 4. 来自测试对象的直接反射 ( 9(NP_s
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"Bl6)qw =)f5JwZPG h3j`X' 5. 待测目标成的像 e]@
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;8g[y"I l*b0uF 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ?0?+~0sI
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{w mP Y2W{?<99 7. 走进VirtualLab Fusion #{5h6IC gg@Ew4L&
(l}nwyh5 (p(-E 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 Lklb z_%}F': glZjo 使用界面构造光栅
结构 UV\&9>@L
!SThK8j$7 复杂
系统中的光栅建模
H=6-@+ !o p4@0Dz`Q 正确设置通道以进行多通道
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