共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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n+%tu"e )W.Y{\D0 2. 建模任务 6
~d\+aV NQ qq\h 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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MR-cO Pn "?SR+;Y:q 3. 聚焦区域的探测场 jhkNi`E7
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Jl|^ 4. 来自测试对象的直接反射 JDj^7\`
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SlojB ^% 5x1_rjP$| #;~dA 5. 待测目标成的像 5KvqZ1L XbMAcgS
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11jDAA(| bdz&"\$X 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 CY
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ct-;L' a w\2yippI 7. 走进VirtualLab Fusion Qb~&a1&s# @#W$7Gwf0
TVEFZ\p<A H]d'#1G 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 OJ2I (8P RRBBz7:~ T_1p1Sg 使用界面构造光栅
结构 gP 6`q g{%2*{;i 复杂
系统中的光栅建模
3PU'd^ Zk#?.z} 正确设置通道以进行多通道
仿真 h&$,mbEoI [tY+P7j9) •使用
参数运行检查影响/更改
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HG)c\b Pu7cL 9. VirtualLab Fusion 技术 Yiy|^j
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