共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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78Zb IL [e. `M{(TB 2. 建模任务 **9[e[(X [F *hjGLc} 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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q4/P'.S \@6w;tyi 3. 聚焦区域的探测场 LwQYO'X
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G\f:H%[5[ w~9Y=|YI7 4. 来自测试对象的直接反射 .0y .0=l
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rJd-e96 c_ 1. J72kjj&C 5. 待测目标成的像 .ddf'$6h d{'u97GDc
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$kQQdF t_X=x`f 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 QN~9O^
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@Q /Q9iO&Vu 7. 走进VirtualLab Fusion 'khhn6itA 5@Xy) z
j =b-Y /$ueLa 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 Wf$P+i* H]f8W]"c[ euh rEjwkH 使用界面构造光栅
结构 `~W ?a Z2\Xe~{ 复杂
系统中的光栅建模
Ria*+.k@"B )d?L*X~y' 正确设置通道以进行多通道
仿真 >R6>*|~S y"0!7^ •使用
参数运行检查影响/更改
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7;:Uv= _/[(&}M 9. VirtualLab Fusion 技术 )VR/a
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