共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
;X?}x%$ )97SnCkal
")O%86_Q: G`SUxhC k 2. 建模任务 i6dHrx]:, GPkmf%FJ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
HW3 }uP\c -G}[AkmS
e-:yb^ .{ocV#{s 3. 聚焦区域的探测场 $ 7O}S.x
/Y9>8XSc
EN$2,qf K&vF0*gN3 4. 来自测试对象的直接反射 \|H!~) h$1
f,h J~
{G U&a
wW7eT~w Bp_$.!Qy ^T*? >%` 5. 待测目标成的像 /(u}KMR!f Ov5"
(!ZM{Js%
VCY\be $G8E 3|k 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 F<n3
4" Cb/y3
61SlVec*o8 (}{G`N>.{ 7. 走进VirtualLab Fusion 2/vMoVT, FG6h,7+
JLnH&(O pOGeruu? 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 :}5j##N oC<.=2] d ^^bke$~ 使用界面构造光栅
结构 0t Fkd O{QA 复杂
系统中的光栅建模
DnC{YK =Q+;=-1 正确设置通道以进行多通道
仿真 YM1'L\^ QN
#U)wn: •使用
参数运行检查影响/更改
SG6kud\b P^A!.}d tX5"UQA
W=j[V
Oq
@OV|]u 9. VirtualLab Fusion 技术 k_sg
?(-!o
h}*/Ge]aM
@JtM5qB