共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
-&) *xKy^f
q%)."10}] NpbZt;%t 2. 建模任务 /N./l4D1K- i~5'bSqc 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
u%OLXb X]\; f
J'L6^-gV o0dD 3. 聚焦区域的探测场 3-[+g}kak?
B&EUvY '
`dl^)4J 9PaV*S(\TR 4. 来自测试对象的直接反射 3J3wKw!`
/L2.7`5
Tq6\oIBkV
0a,B&o1 ws
U @hqS 'c
>^Aai 5. 待测目标成的像 U0N6\+ q!Z{qt*`um
]9wTAb
f>Tn#OW uNqN &7g 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 |ss4pN0X
/NuO>kQa
5)->.* G* s>{\^T7y 7. 走进VirtualLab Fusion NZ+TTMv 20:![/7:!
^^YP kh6sS w.+G+r= 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 SI=7$8T5=5 )t2 eg1a: h66mzV:` 使用界面构造光栅
结构 >3I|5kZ6 i\#?M " 复杂
系统中的光栅建模
DJ1!Xuu Su+[Q6oC@ 正确设置通道以进行多通道
仿真 Dh<}j3] QQ %W3D@ •使用
参数运行检查影响/更改
.B!
Z0 -"x@ V7X AyOy&]g
jFI`CA6P D23 c/8K 9. VirtualLab Fusion 技术 SXNde@%
{
zkd^5A; `
EbJc%%c