共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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$ hoYkA hg4J2m 2. 建模任务 ) G|"jFP F@EZ;[ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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Zikm?(J WkP|4&-< 3. 聚焦区域的探测场 xY+A]Up|w
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,[^o9u uB Kn.iyR 4. 来自测试对象的直接反射 7>
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K)Ge ..aK sSm( OoSa95#x 5. 待测目标成的像 "~Us#4> [RW,{A
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Gy$o7|PA"{ Q6xgLx[ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 TZkTz
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[-QK$~[ g 7. 走进VirtualLab Fusion h|)2'07 ,d5ia4\K
)|Jr|8 95VqaR, 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 2AmR(vVa" 8XgVY9]Qm 7@3M]5:3g 使用界面构造光栅
结构 xR _DY'z Qve`k<Cj" 复杂
系统中的光栅建模
JW2W>6Dgv[ :K?iNZqWN6 正确设置通道以进行多通道
仿真 Gtf1}UJC Y/#:)(&@ •使用
参数运行检查影响/更改
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v!iWzN -0/=k_q_ 9. VirtualLab Fusion 技术 bl6':m+
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