共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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9J2%9,^ G=~T)e 2. 建模任务 BT`/OD@ (CuaBHR
共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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ijyj}gpWha Y*J`Wf(w 3. 聚焦区域的探测场 $9Z8P_^.0(
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HnOp*FP AQ+w%>G6 4. 来自测试对象的直接反射 $lV0TCgba8
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Q@]#fW\Y nX?fj<oR| ShGR!r< 5. 待测目标成的像 zFQxW4G LuQ=i`eXx
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Y\ 9uR!0 7NJ1cQ-}t 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 }Qg9l|
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#a}fI 0>E` 9| 7. 走进VirtualLab Fusion M-|4cd]6 7%)4cHZ^$?
Kr]F+erJe M^g"U` 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 K mL
PWj &x;v& Fz>J7(Y.j 使用界面构造光栅
结构 /=Q7RJ@P npbNUKdz 复杂
系统中的光栅建模
'SOp!h$ ze,HNFg@> 正确设置通道以进行多通道
仿真 jQsucs5$h )+cP8$n6L •使用
参数运行检查影响/更改
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+J+]P\: m=j7 vb 9. VirtualLab Fusion 技术 pw&l.t6.
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