共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Wjw,LwB zTw"5N 2. 建模任务 Ey|_e3Lf[ f|~ {j(.v 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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EyE#x_A Z)#UCoK!c 3. 聚焦区域的探测场 0B]q /G(
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J{1H$[W~} Y"GNJtsL " 4. 来自测试对象的直接反射 #4msBax4
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"0P`=n kO}&Oi,? q*l4h u%3 5. 待测目标成的像 3S:Lce'f m0"K^p
Icnhet4
"tzu.V- P2-&Im`+ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 FvxM
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8Y?M:^f~ ,twx4r^ 7. 走进VirtualLab Fusion `r`8N6NQ&] \!-BR0+y;
hw^&{x y2G Us&09 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ?l0Qi $v|W2k ]dpL
PR 使用界面构造光栅
结构 `<C<[JP:o hzqJ! 复杂
系统中的光栅建模
69g{oo YX0ysE*V:& 正确设置通道以进行多通道
仿真 5I622d ]%' AZ`8 •使用
参数运行检查影响/更改
%c }V/v_h o$rjGa l a#YK1n[!
Hc)z:x;Sj ky2 bj}"p9 9. VirtualLab Fusion 技术 lK0ny>RB
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