共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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X21dX`eMN gmSQcN) 2. 建模任务 8)0L2KL' t0m*PJcF 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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^O%9yEo q9}m!*8e 3. 聚焦区域的探测场 v@u<Ww;=@
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$->d! 6/mF2&&g 4. 来自测试对象的直接反射 0-2"FdeQU
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:mv`\ ;rBp1[qVe (v#pj8aE 5. 待测目标成的像 cBEHH4U [6gO
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hG Apuy ehOs9b 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 6f]r Q9
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F=&;Y@t @"1}16b#f 7. 走进VirtualLab Fusion ]h~o],: 8sw,k
5()Fvae{k 3eg5oAZ)G8 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 W(&6 zLek&s&- =,Ttw> 使用界面构造光栅
结构 8B@JFpg^ ')nnWlK 复杂
系统中的光栅建模
Q\#UWsN(T/ Gc;B[/: 正确设置通道以进行多通道
仿真 w:Q|?30 &`@M8-m#F •使用
参数运行检查影响/更改
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'TX M{RGw YsAF{ 9. VirtualLab Fusion 技术 %3,xaVN
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