共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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*Ts$Hj[ m"Mj3Z: 2. 建模任务 Posz|u<x >e6 OlIW 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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;AOLbmb)H4 jnJ*e-AW 3. 聚焦区域的探测场 >fP;H}S6
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|-S!)iG1V _w?!Mu 4. 来自测试对象的直接反射 )HE{`yiLL
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t6+W ?C fQwY#N zC)JOykI% 5. 待测目标成的像 >&+V[srfD sHBTB6)lx
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9Xg7=(# GP4!t~"1 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 k6(</uRj
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Xx dI%jR&.e; 7. 走进VirtualLab Fusion ; ,sNRES3 n5"oXpcIx
+zch e Wm-$l 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 -DHzBq=H #3_g8ni5X 00i MU 使用界面构造光栅
结构 &':C"_|&r yN`hW&K 复杂
系统中的光栅建模
, 2#Q> D%3$"4M7! 正确设置通道以进行多通道
仿真 L$O\fhO? ;Z0&sFm •使用
参数运行检查影响/更改
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QpQ 2hNf I>nYI|o1 9. VirtualLab Fusion 技术 P,m+^,
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