共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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p^}`^>OL 3.Yg3&"Z 2. 建模任务 J+Fev.9> FZ RnIg 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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8ki3>"!A T`pDjT 3. 聚焦区域的探测场 2@?X>,
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.I EHjy\+ ',!jYh}Uxk 4. 来自测试对象的直接反射 pH.&C 5kA
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l53Q"ajG 94et ]u%7 \2=I//YF 5. 待测目标成的像 T)%6"rPL3! TQKcPVlE
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L1I1SFG {$Uj&/IC 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 7]{t^*
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^fe,A=k~1 '_V9FWDZ 7. 走进VirtualLab Fusion ]P#W\LZp TmftEw>u
iPV-w_HQ Y>/_A%vQU 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 v0!|TI3s k!z<=WA ,`Z4fz: 使用界面构造光栅
结构 E:M,nSc)53 J=78p#XUg 复杂
系统中的光栅建模
JNXzZ4U t:V._@ 正确设置通道以进行多通道
仿真 1fsNQ!vQP aem gGw< •使用
参数运行检查影响/更改
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sbX7VfAR` B|"/bQ 9. VirtualLab Fusion 技术 Ipq0
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