共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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eLe,= %fexuy4 2. 建模任务 -f-O2G= V1UUAvN7s 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
2zmQp N]O{T_5-0
j\jL[hG_ p@!@^1j= 3. 聚焦区域的探测场 RE(=! 8lGR
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qr<-eJf FVvv 4. 来自测试对象的直接反射 dA_V:HP
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O?4vC5x v"G%5pq*\ i_jax)m% 5. 待测目标成的像 HL}sqcp ?-RoqF
X*c_^g{
=0!\F~ D:RBq\8 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 <?=mLOo=
r=iMo7q
`K@df<}%*, 1b
%T_a 7. 走进VirtualLab Fusion &?5{z\;1" 8-y: == C
+UpMMh q c],frhmyd 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 !txELA~24 >TY5ZRB S$kuhK>W! 使用界面构造光栅
结构 i?i7T` s&QBFyKtJ 复杂
系统中的光栅建模
#?b^B~ # 0F0Q=dZ 正确设置通道以进行多通道
仿真 Wc`J`.#
n.)[MC} •使用
参数运行检查影响/更改
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9Qs"X7iH 5qtmb4R~ 9. VirtualLab Fusion 技术 8t*%q+Z
_c(C;s3o
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