共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Jf@Xz7{z obgO-d9l 2. 建模任务 mDWRYIuN DuC_uNJ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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?.nD!S@ _IvqZ/6Y( 3. 聚焦区域的探测场 eHyIFoaC/
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j<L!(6B Uz`OAb 4. 来自测试对象的直接反射 hCj8y.X|E(
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}jNVR#D: mDA1$fj" t0T#Xb 5. 待测目标成的像 "
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z_Pq5 3gW+|3E 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 Q1DiEg
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BR~+CBH }y%mG&KSz 7. 走进VirtualLab Fusion ~A*$+c( SCq3Kh
8oJp_sw QU@CPME 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 z+Ej`$E{lD 3+I"Dm, k_ijVfI9 使用界面构造光栅
结构 x0q`Uc 0-Wv$o[ 复杂
系统中的光栅建模
mFBuKp+0)h 0}$R4<"{Y> 正确设置通道以进行多通道
仿真 :U'Oc3l#Y XC,by&nY<y •使用
参数运行检查影响/更改
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WAGU|t#." sTECNY=l 9. VirtualLab Fusion 技术 9:*a9xT,
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