共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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(jbHV.]P9 m2 0:{fld 2. 建模任务 c5x2FM z 6-8,qk 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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+ 3. 聚焦区域的探测场 hTZ&
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<d89eV+ Fk(nf9M% 4. 来自测试对象的直接反射 :.8@ xVH
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jcrLUs+\ v_M-:e3` }LK +w+h~ 5. 待测目标成的像 !'|^`u=eL |q0F*\z3
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D%[yAr;r +i"^"/2f{ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 !1G6ZC:z
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hT%_se4 G8bc\] 7. 走进VirtualLab Fusion ?|4Y(0N -rg >y!L
:wWPEhK dsJMhB_41U 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 p;#@#>h X#v6v)c Fpe>|"& 使用界面构造光栅
结构 h 8Shf" `Hlv*" w$ 复杂
系统中的光栅建模
fkKk/M>1 'PO+P~|oa& 正确设置通道以进行多通道
仿真 :pz`bFJk \%],pZsA ~ •使用
参数运行检查影响/更改
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Dx1f<A1 prypo.RI 9. VirtualLab Fusion 技术 RaT.%:CRm
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