共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
~/-SKGzo- Tgtym"=xd
iv6G9e{cx U+ik& R# 2. 建模任务 MZ-;'w&Z ]wEI*c( 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
|gP) lR #<9'{i3
\i//Aq 9c k"JMla 3. 聚焦区域的探测场 gL&w:_
|^UQVNJ
yx-"&K=` P[q>;Fx* 4. 来自测试对象的直接反射 z[QDJMt>
JkT!X
ov,
L%5y@b{AR \-6y#R-B Sq_.RU 5. 待测目标成的像 (UjaL@G \9#f:8Q
h~Z &L2V
JcmMbd&B 3I( n]; 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ^$O(oE(D
),B/NZ/-
vvxD}p=y *kK +Nvt8s 7. 走进VirtualLab Fusion w/(T L3wj vq^
';Nc;9 HP[B% 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 wk8fa R"O%##Ws 4To$!= 使用界面构造光栅
结构 T?!SEblP] WR#h~N
9c 复杂
系统中的光栅建模
,pTZ/#vP# tyW[i8)O} 正确设置通道以进行多通道
仿真 2D"my]FnF urx?p^c •使用
参数运行检查影响/更改
#'%ii,;wQ AU`z.Isf "A~dt5GJ
3T]cDVQ_ rqN+0CT 9. VirtualLab Fusion 技术 leNX5 sX
oowofi(E
v*GS>S