共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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%!W%#U0 pC^[ [5A 2. 建模任务 wJIB$3OT cC6z,0`3 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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z\Ui8jo:; c f*zejbw 3. 聚焦区域的探测场 mTjm92
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sv=^k(d3 s-6:N9- 4. 来自测试对象的直接反射 YBylyVZ
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* 5. 待测目标成的像 bF6gBM@* hWxT !
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&7][@v 4K,''7N3 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 l\aUresm
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oc;VIK)g]c [Yvsa,2 7. 走进VirtualLab Fusion UPO^V:.R4 ,wTg$g-$
9HKf^+';n 3Uo]>BG 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ,i![QXZ ]wf|PU~nr ,aO@.<" 使用界面构造光栅
结构 1PIzV:L\ 7vNtv9 复杂
系统中的光栅建模
?Ccw4]YO,= T9y768% 正确设置通道以进行多通道
仿真 A^vvST%7 i*
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参数运行检查影响/更改
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&CO|Y(+ ` U#Po_hq 9. VirtualLab Fusion 技术 j`Nh7+qs
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