共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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\`oT#|0 ej4W{IN~: 2. 建模任务 C([phT; ,0*&OXt 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
I/d&G#:~ v0-cd
Sp@^XmX(S ^?cz,N~ 3. 聚焦区域的探测场 C${Vg{g7a
M m[4yP%
D7lK30 WHsgjvh" 4. 来自测试对象的直接反射 pk?w\A}
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UR7g`/ WG N=Y~E M=1n QF2J 5. 待测目标成的像 8YZbP5' u.d).da
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]ndvt[4L i@P)a'W_ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 r"``QmM
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#w,Dwy aGJC1x 7. 走进VirtualLab Fusion @ zs'Y8 /2UH=Q!x4E
OTGofd2zf DF1I[b=] 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 bSfpbo4( `tHvD=`m. _A+s)]} 使用界面构造光栅
结构 !lf|7 %MrWeYd1 复杂
系统中的光栅建模
OUeyklw MaRi+3F 正确设置通道以进行多通道
仿真 (eCJ;%%k /4a._@1h[y •使用
参数运行检查影响/更改
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12;8o<~ Qr^|:U!;[z 9. VirtualLab Fusion 技术 Fy`(BF\
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