共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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MV 2. 建模任务 TX$j-TM' |-bAzt 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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ngE5$}UM }Til $TT%H 3. 聚焦区域的探测场 h?jKq2`
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}9=VhC%J _O{3bIay3! 4. 来自测试对象的直接反射 !c/G'se
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{ G. :@mb.'%*! 5. 待测目标成的像 =c:K(N qL O8qA2@,
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!/2uO5 B*W)e$ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ?U$H`[VF}
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?hHVawt K?`Fpg( 7. 走进VirtualLab Fusion teIUSB[ ):-\TVz~
>NDI<9<'0} 8iQ8s;@S&> 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 _HjS!(lMk Xy0*1$IS] p,0J $L 使用界面构造光栅
结构 cgY+xd@ O!xul$9 复杂
系统中的光栅建模
;hzm&My h'%iY6!fA 正确设置通道以进行多通道
仿真 GI']&{ f-$%Ck$%, •使用
参数运行检查影响/更改
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$^~dqmE2, ;XAj/6pm 9. VirtualLab Fusion 技术 w`ebZa/j
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