共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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w[|!$J? #K)HuT 2. 建模任务 {H>iL {O^1WgGc[ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
,2kWj7H%7 ?2=c'%w7
uNRGbDMA= nK96A.B%p 3. 聚焦区域的探测场 5SKu \H\
b?y1cxTT
]\3dJ^q|% k2;8~LqF 4. 来自测试对象的直接反射 Viw{<VH=
d+^4;Hv4
i&bttSRNV
c2F`S1Nu< L$ ON=$q5 8;Pdd1GyUL 5. 待测目标成的像 (sl]%RjGa \+>b W(
1zp,Suv
m[8#h(s*t MBwp{ET!p 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 <A6<q&g|E
8vP d~te
2]C0d8=*? 0<Pe~i_= 7. 走进VirtualLab Fusion .#}SK!"B 5GRN1Aov<
K8RloDjk_A Y}WO`+Vf5 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 4^i*1&" lq9c2xK /JfXK$` 使用界面构造光栅
结构 gT+/CVj R 1R:h$*-z 复杂
系统中的光栅建模
:?^(&3; AzQ}}A;TSx 正确设置通道以进行多通道
仿真 M,{F/Yu c,-< 4e •使用
参数运行检查影响/更改
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{6AJ>}3 XH*^#c 9. VirtualLab Fusion 技术 oJR!0nQ
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