共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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m-uu !?+0O]`} 2. 建模任务 NYG!\u\Rm h>cjRH?e 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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L;{{P7 o~"Y_dLsW 3. 聚焦区域的探测场 eK*oV}U-k
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61>< *HGhm04F{ 4. 来自测试对象的直接反射 B|$o.$5
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hm0A%Js lVd-{m) fB,eeT1v?h 5. 待测目标成的像 !io1~GpKS WDV=]D/OE
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HyKA+7} ~ QohP`_ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 Ej6ho 0_
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S+wT}_BQ _JTK$\ 7. 走进VirtualLab Fusion E.ji;5 GQd[7j[sh
WwtVuc| ;PU'"MeB " 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 1-PlRQs.1 JhTr{8{ Fo;:GX,b 使用界面构造光栅
结构 Ty~z%=H :i0;jWcb 复杂
系统中的光栅建模
Zby3.=.e O`GF| 正确设置通道以进行多通道
仿真 &HAu;u@ ~jHuJ`]DF •使用
参数运行检查影响/更改
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E)r 2e-bt@0t 9. VirtualLab Fusion 技术 wQd8/&mmk
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