共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利，后来以
激光作为
光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Xs`:XATb/ f@/qW!o 2. 建模任务 / w!' [ Nm081ic2< 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？
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u(' OHPqq OVh/t# On 3. 聚焦区域的探测场 8\V-aow
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Qom@-A 4. 来自测试对象的直接反射 G[ ^G~U\+!
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k2NF="o J X/d;N7a &4%J35 ~ 5. 待测目标成的像 V_1# 7 =Fs LF 
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F^ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 k2WO*xa*
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: /uc/x+(_ 7. 走进VirtualLab Fusion Iw:("A&~ C/vLEpP{(/ 
U+RPn?Q '_<`dzz 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
_NZHrN E 9:hK 2r0!h98 使用界面构造光栅
结构 X]*/]Xx &sgw Y 复杂
系统中的光栅建模
:V2 Q n-N 4|L@oT zx 正确设置通道以进行多通道
仿真 :&-}S>pC _Kj. •使用
参数运行检查影响/更改
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Os!22 O [Z+,)-ke 9. VirtualLab Fusion 技术 n6Zx0ad?
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