共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
=Ju%3ptH0 R6m6bsZ`
6uS;H]nd< )L+>^cJI< 2. 建模任务 R6cd;| fan '_q&~M{ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
aM5Hp>'nI m'n<.1;1{j
0{^ 0>H0 #i;y[dQ 3. 聚焦区域的探测场 PenkqDc}
R4_BP5+
ptQCqQ1_d #fVk;]u`[3 4. 来自测试对象的直接反射 >,6%Y3
`G'Z,P-a
@f!r"P]
>PS`;S!( \yhj {QS.k Xk>YiV",? 5. 待测目标成的像 \x=j ]q`'l_O
MA,7|s
^ *1hz< 'O^<i`8U] 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 Xmny(j)g
#O1%k;BL
ThiM6Hb _aP2gH 7. 走进VirtualLab Fusion ]?*'[ {i"th(J$
3D-VePM=` XXg~eu? 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 'wA4yJ< ]KM3G bLsN?_jy 使用界面构造光栅
结构 g/+|gHq^ YH,u*.I^/ 复杂
系统中的光栅建模
/l` "@ F\2<q$Zn+ 正确设置通道以进行多通道
仿真 *@eZt*_ Ake$M^Bz •使用
参数运行检查影响/更改
QB5,Vfoux ePo :::
#_kV o3
Yn5a4 -Oplk* 9. VirtualLab Fusion 技术 7r{159&=
8
3Tv-X
YBupC!R