共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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G*MUO#_iuh +`0k Fbx 2. 建模任务 G_JA-@i% Y@iS_lR 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
XT*sGM Tidn-2L73O
pki%vRY S hWJ72c 3. 聚焦区域的探测场 kZ:ZtE
8,%^
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cjY-y-vO Z{d^- 4. 来自测试对象的直接反射 !<";cw(q
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5tkAFb4P r6qj7}\ Or+U@vAnk 5. 待测目标成的像 w9imKVry BO&bmfp7,
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_VN?#J)o gf@:R'$:+ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 `h\j99
L*+@>3mu)
aXYY:; G` A4|+W" 7. 走进VirtualLab Fusion e !Y~Qy P@B]
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4+5\X )akoa,#%6c 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 {tZ.v@ Kc-W&?~y#1 t*u:hex 使用界面构造光栅
结构 q9_OGd|P /3T1U 复杂
系统中的光栅建模
Sm|6 %3 2ilQXy 正确设置通道以进行多通道
仿真 GefTdO.& 9A=,E& •使用
参数运行检查影响/更改
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H R 9\*#c 9. VirtualLab Fusion 技术 /x$ nje,.
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