共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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s-&i!d ygQAA!&'] 2. 建模任务 uV'C_H u`-:'@4 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
l#w0-n%S 6/(Z*L"~6k
^Ga_wJP8S 1.~^QH\p?3 3. 聚焦区域的探测场 rXe+#`m2
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5$$]ZMof SokU9n! 4. 来自测试对象的直接反射 {@-tRm&
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L!ot 5. 待测目标成的像 IY2f$YV Aj>
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5y~B/.YY XR#?gx .} 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 g%4=T~
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0=OvVU;P 3[m~6Ys 7. 走进VirtualLab Fusion '}P$hP_d HNfd[#gV
%8|? YxiZ: VOp+6ho< 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 xT+@0?|F ).$kp2IN cW^u4%f't' 使用界面构造光栅
结构 oR<;Tr~{q %-NG eN8 复杂
系统中的光栅建模
^"$~&\+x5 @Z9>E+udQ 正确设置通道以进行多通道
仿真 u$x'P <b 1|3vwgRhs •使用
参数运行检查影响/更改
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hXn@vK6 [>kzQYT[ 9. VirtualLab Fusion 技术 YzAGhAyw
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