共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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/r.6XZs6 >xd<YwXZ 2. 建模任务 t%+$"nP QD<eQsvV 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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OV5e#AOy) J4yt N3 3. 聚焦区域的探测场 vD=%`G[m
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}e=e",eAT T{-2fp8r[ 4. 来自测试对象的直接反射 d\Jji 6W
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IL2r9x% ,$Tk$ ,k*F`.[ 5. 待测目标成的像 koH4~m{ v["3
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%ejeyc H~m]nV,r 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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}aZrou3E :dDxxrs" 7. 走进VirtualLab Fusion )vHi|~( B| Q6!
%CT!$Y'n |s`Kd-'|q 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 MFTC6L+T :QKb#4/8; l10-XU02 使用界面构造光栅
结构 uL>:tb nW&$~d 复杂
系统中的光栅建模
ve%l({ ^/{4'\p 正确设置通道以进行多通道
仿真 4e/cqN6 ,o)4p\nV •使用
参数运行检查影响/更改
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5&qY3@I7l tw86:kYEz 9. VirtualLab Fusion 技术 .93S>U< _
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