共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利，后来以
激光作为
光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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IDcu#Nz` I:='LH, 2. 建模任务 G!%1<SLi. E7y<iaA{~ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？
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`H*s@ Cm>8r5LG 3. 聚焦区域的探测场 [f^~Z'TIN/
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"aD 3\6jzD 4. 来自测试对象的直接反射 fz,8 <
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~vG~Z*F +-HaYB|p }LQ&AIRN 5. 待测目标成的像 'ApWYt AY|8wf,LS 
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R^Xn > .~^( 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 c_&iGQ
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o^_z+JFwb K*p^Gs , 7. 走进VirtualLab Fusion a\^DthZ!;| \y#gh95 
HL*jRl _ ?=b W 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 5ahAp]; } _XKO\ oP_'0h0 X 使用界面构造光栅
结构 -KbT[] LWf+H 4iZ} 复杂
系统中的光栅建模
,SS@]9A & =as ]>?< 正确设置通道以进行多通道
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(F~eknJ c :hOQZ 9. VirtualLab Fusion 技术 1% EIP -z
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