共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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w&J_c8S XAtRA1. 2. 建模任务 + DE/DR: '#,C5*` 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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fZ;}_wR-H "^wIoJ6H' 3. 聚焦区域的探测场 3/]FT#l]i
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V3d$C&<( ?<8c 4. 来自测试对象的直接反射 e L}X().
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[cl+AV " , `EOJ"| K~S*<? 5. 待测目标成的像 5IFzbL#q#f I'p+9H$
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PDCb(5 |k%1mE(+=s 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 b0@K ~O;g
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:)tsz; 3Lq9pdM>2@ 7. 走进VirtualLab Fusion >lzXyT6x8 ZW0\_1
U0{)goN. Fpeokr"i 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 |3Oyg ?2 LXhR"PWZM\ 8ZM#.yBB 使用界面构造光栅
结构 *rHz/& , v9S=$Aj 复杂
系统中的光栅建模
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Q6e7Z-8 正确设置通道以进行多通道
仿真 6-J}ZfGj @7.7+blS"H •使用
参数运行检查影响/更改
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o)7Ot\:E ^yq}>_ 9. VirtualLab Fusion 技术 :M f8q!Q'
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