共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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2. 建模任务 [G3E%z \b>]8Un" 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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J.%IfN Ho]su? 3. 聚焦区域的探测场 :23P!^Y
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B$x>Q'C( 4. 来自测试对象的直接反射 'N(R_q6MW
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E*lxVua +cRn%ioVi ptaKf4P^r 5. 待测目标成的像 R@2X3s: h@BY]80
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\)Cl%Em [-x7_=E# 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 47B&s
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Z30A{6} -n;}n:wL 7. 走进VirtualLab Fusion ss-D(K" "Yy n/
6w7 7YTJ "Rl}VeDY 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 LH6vLuf ~QVH<`sn F:ELPs4" 使用界面构造光栅
结构 wKHBAW[i] Ir]\|t 复杂
系统中的光栅建模
`$NP>%J- fc@A0Hf 正确设置通道以进行多通道
仿真 j+YJbL v WEpoBP
CL •使用
参数运行检查影响/更改
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2T`!v 3uMy]HUQ 9. VirtualLab Fusion 技术 dqAw5[qMJ
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