共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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[4EIy" r}Vr_ 2. 建模任务 Ag3+z+uS C-_u`|jQ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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TN Z-0 ?AO=)XV2 3. 聚焦区域的探测场 aeYz;&K
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?&6|imPE |+~P; fG 4. 来自测试对象的直接反射 0(C[][a*u
c.Izm+9k
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6wOj,}2Mn e Vj 8u ]}S9KP 5. 待测目标成的像 EGRIhnED# ]c\`EHN
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iyR5mA 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 PMiu "
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TJcHqzcUc ]Gj%-5G 7. 走进VirtualLab Fusion 'D[ *|Qcy daB5E<?
zzC{I@b W;X:U. 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 #BEXj<m+J / H GPy 5a5JOl$8 使用界面构造光栅
结构 3nq4Y' D1]?f` 复杂
系统中的光栅建模
7 }t=Lx( X#W6;?Z\ 正确设置通道以进行多通道
仿真 (-o}'l'mo %Zeb#//Jz •使用
参数运行检查影响/更改
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?U:c\TA,m gxDyCL$h3 9. VirtualLab Fusion 技术 + >tSO!}[
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