共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利，后来以
激光作为
光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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.!Os'Y9[ , d~w}{LR[1 2. 建模任务 5uD'Kd$H \q:PU6q 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？
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htHnQ4Q +"D* 0gYD 3. 聚焦区域的探测场 8EAkM*D w
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^ v DVE#Nm_ 4. 来自测试对象的直接反射 c{cJ>d 0
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?iaD;:'qE X] v.Yk=wu 1}jwv_0lL 5. 待测目标成的像 APY*SeI V J2Eb"y>/; 
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4&^BcWqA*f 9 e0Oj3!B 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 y3pr(w9A
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7. 走进VirtualLab Fusion "ju0S & yf7$m_$C' 
;c;PNihg U#1 ,]a\ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 f
iu?mb=* Mwd(?o ~$Pz`amT| 使用界面构造光栅
结构 Oa|'wh ug y}!}*Qj+/ 复杂
系统中的光栅建模
'}$$ o1R >6"u{Qmr 正确设置通道以进行多通道
仿真 *WpDavovyB A?/(W_Gt^M •使用
参数运行检查影响/更改
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?2 JJ$q * 9. VirtualLab Fusion 技术 XB'PEvh8
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