共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利，后来以
激光作为
光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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4 2. 建模任务 Fk4 T>8q2; }M0GPpv 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？
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r I1eF 3. 聚焦区域的探测场 jl)7Jd
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m|by^40A( R5b!Ao 4. 来自测试对象的直接反射 Xus TU
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< _8p6{= *K'_"2J +U^H`\EUr 5. 待测目标成的像 Q&?^eOI&#( 4))5l9kc. 
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6Q x[W>I !8@8 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ~:xR0dqx
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AK_,$'f <t"KNKI 7. 走进VirtualLab Fusion V/ @7XAt v"v -c!k 
? `+G0VT G|eJac> 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 jiGXFM2 0/4"Jh$t k )=Gyv < 使用界面构造光栅
结构 ] [ V@t^ 14S_HwX 复杂
系统中的光栅建模
'mm ~+hp :={rPj-nU 正确设置通道以进行多通道
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3DX@ggE2 LKsK!X 9. VirtualLab Fusion 技术 +zI NnX
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