共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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*,$5EN GM%OO)dO} 2. 建模任务 }d?;kt ]#]Z]9w 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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AabQ)23R2 f=l/Fp}4UH 3. 聚焦区域的探测场 H[~ D]RG}'
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g{]6*`/Z oPmz$]_Z 4. 来自测试对象的直接反射 Uqel
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te be8T<F H@uu;:l<7A 5. 待测目标成的像 %P0 (.:*GUg
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:PT{>r[ vu+g65" 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 2GptK"MrD
Jo {:]:
YCDH 0M \n[kzi7 7. 走进VirtualLab Fusion o`iA& f}bq
DquLr+s~ E2dM0r<] 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 lI?P_2AaS T[SK>z i#la'ICwJ 使用界面构造光栅
结构 VL*KBJ 8s)b[Z5 复杂
系统中的光栅建模
K83'`W^ yJI~{VmU7 正确设置通道以进行多通道
仿真 \\R}3 >Wc 1d< b\P0 •使用
参数运行检查影响/更改
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5mZ2CDV G!Brt&_' 9. VirtualLab Fusion 技术 d^=)n-!T
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