共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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z6bIv} #e$vv!&} 2. 建模任务 cAzlkh
BPC> 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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8\e8$y3 p(S {k]ZL@ 3. 聚焦区域的探测场 3>buZ6vh
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>twog}% k3r<']S^ 4. 来自测试对象的直接反射 $3{I'r]
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OT}^dPQe hO4* X ,PZ[CX;H@ 5. 待测目标成的像 6YYDp&nqEj d0N/!;
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2"L a}Vx2 SSa0x9T 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 E JJW
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Zi ;7.P qL eLN[`hJ 7. 走进VirtualLab Fusion vU,;asgy qM:*!Aq0g
_&/2-3]\B 'n!kqP 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 5D`!Tu3 yo"!C?82= }i@%$Ixsn 使用界面构造光栅
结构 !eGUiE= +{"w5o<CO 复杂
系统中的光栅建模
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'' Pfs<! 正确设置通道以进行多通道
仿真 5Z(#)sa0Og h9WyQl7 •使用
参数运行检查影响/更改
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oq9gG)F R'x^Y" 9. VirtualLab Fusion 技术 2N}h<Yd9
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