共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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qKE +,g' m ;wj|@cF 2. 建模任务 (-VH=,Md g'2}Y5m$` 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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a%`L+b5-$ WkV0,_(P 3. 聚焦区域的探测场 P G
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X.ZG-TC (3=bKcD' 4. 来自测试对象的直接反射 ! 6R|
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xBM 5. 待测目标成的像 <[=[|DS l g[;&_gL
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h!tg+9% ]#7baZ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 y,`q6(&
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Q8_5g$X\ Nh !U 7. 走进VirtualLab Fusion [Scao $ *2/6fhI[p
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S?p_ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 3h6,x0AG w9Nk8OsL @P h'! 使用界面构造光栅
结构 M&e=LV SQN{/")T 复杂
系统中的光栅建模
?P}) Qa BF"eVKA 正确设置通道以进行多通道
仿真 ob/HO(h3 YVk
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<l 9. VirtualLab Fusion 技术 ,t|_Nc
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