共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利，后来以
激光作为
光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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t5b c Q@Y 1Ci^e7|? 2. 建模任务 -0;{ 80%"2kG 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？
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ZB$yEW]]~ (aJ$1bT=T 3. 聚焦区域的探测场 4Hyp]07
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< x<qO=lq e$ QMR.' 4. 来自测试对象的直接反射 O['[_1n_u]
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D=D.s)ns* 9ec#'i= P^q!Pye 5. 待测目标成的像 9.~ _swkv F|VHr@% 
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B\=T_'E& 6 P(jc 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 -c0 *
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&'i.W}Ib! 8c%N+E] 7. 走进VirtualLab Fusion 0iMfyW: \:JY[s/ 
4/SltWU RSM+ si/ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 IY}GU 2# 1]8Hpd >*l2]3' ` 使用界面构造光栅
结构 CRzLyiRvU& CX {M@x3m 复杂
系统中的光栅建模
m+pK,D~{" h^{ aG ]) 正确设置通道以进行多通道
仿真 op&j4R PI *Z>VE? •使用
参数运行检查影响/更改
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"zIQ(|TL?d VdL }$CX$ 9. VirtualLab Fusion 技术 h9. Yux
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