共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
!/['wv@ =[?2'riI
<<w $Ur 2,;+) 2. 建模任务 o
1#XM/Z JQE^ bcr 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
gV!Eotq co<){5zOT
aM3%Mx?w E[6JHBE*r 3. 聚焦区域的探测场 Z%XBuq:BY
czb(&><
0;3;Rs $ah, $B 4. 来自测试对象的直接反射 -Z<e`iFQS
{{[).o/
r['T.yo
f3V&i)w( B8|=P&L7N (OYR, [* 5. 待测目标成的像 =q^o6{d0" C1|e1
X`:(-3T
}`IN5NdYp A`=ESz 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 g;\zD_":l
]NuY{T&:
).N }x^ JQsS=m7Et 7. 走进VirtualLab Fusion S]9:3~ f&ZxG,]Hi
Gc4N)oq)}b h^~eTi;c]Q 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 U-3KuR+0 1F/`*z \@['V 使用界面构造光栅
结构 fbwo2qe@K !o:RIwS3 复杂
系统中的光栅建模
T!pWU*aB EiP_V&\ 正确设置通道以进行多通道
仿真 W8yr06{] T
{(6*^g<B •使用
参数运行检查影响/更改
EZIMp8^ 11X-X 27t:-O
[_L:.,]g8 N^h,[ 9. VirtualLab Fusion 技术 '8i
np[_
#g{ZfO[#
-q(,}/Xf