共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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'\9A78NV{; a9"Gg}h\ 2. 建模任务 t0wLj}"U xT@\FwPr 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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Bdq/Ohw|! ?-(E$ll 3. 聚焦区域的探测场 >iq^Ts
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4b 4nFRnH xbIxtZm 4. 来自测试对象的直接反射 #Zfg
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Qd@`jwjS s,0,w--= w7O(I" 5. 待测目标成的像 LaLA}1!
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*iYs,4 VDscZt)y8 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 75{QBlf<
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iLFF "Hs Pj+XKDV]T 7. 走进VirtualLab Fusion C7PHZ`< \5J/?
/\2 s%b* @ij}|k%* 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 a?@j`@]ZR~ 8on2BC2 ji">} - 使用界面构造光栅
结构 0e3aWn m%m8002 复杂
系统中的光栅建模
p=eSHs{>A qdOaibH_ 正确设置通道以进行多通道
仿真 h4ZrD:D0\ sHKT]^7 •使用
参数运行检查影响/更改
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5&6S["lt 2TiUo(MK 9. VirtualLab Fusion 技术 9QZ;F4 r
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