共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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O2N~&<^ 4v;KtD;M 2. 建模任务 VX]Ud\(
( =t41-l 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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%hN7K rB}2F*eT 3. 聚焦区域的探测场 }Wz[ox 9b
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LXf* JV@b(x` 4. 来自测试对象的直接反射 QW=
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^\7GFpc 9a0|iy ,| ~Pa 5. 待测目标成的像 A1F!I4p5 - sL4tMP
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m\@ q2l- ~As_O6JI 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 O>[B"mMt
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Hk@LHC ?$~5ti#\ 7. 走进VirtualLab Fusion oL
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[c^7 >8%O;3-m# 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ie}?}s DMiB \o Aga{EKd 使用界面构造光栅
结构 sDP8! -~ H?R 复杂
系统中的光栅建模
i^}ib
RQbN C(&3L[ 正确设置通道以进行多通道
仿真 l09SWug ~qkn1N%' •使用
参数运行检查影响/更改
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jh"YHe/X *&tv(+P 9. VirtualLab Fusion 技术 MQq!<?/
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