共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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B/c_pRl; bJmVq%>; 2. 建模任务 7Ha
+@ |9{l8`9}_ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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M)!8`] =YE"6iU 3. 聚焦区域的探测场 ;vc$;54K
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ZvvQA 4. 来自测试对象的直接反射 \\Fl,'
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q{[}*% 6~ev5SD;f /Uz2.Ua= 5. 待测目标成的像 TWK(vEDM C(Yk-7
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.fk!~8b[Q+ 3&/5!zOg) 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 <2HI. @^
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W1w)SS Q>cLGdzO 7. 走进VirtualLab Fusion #5-0R7\d7 !E'jd72O
u0^GB9q BXiuVx 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 #6[FGM 5#p [Q _ 8B"jvrs 使用界面构造光栅
结构 L0/0<d(K ?dVF@ 复杂
系统中的光栅建模
WJ9Jj69 x\)0+c~\}x 正确设置通道以进行多通道
仿真 /lC n^E6- -\:pbR •使用
参数运行检查影响/更改
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yt8H 9. VirtualLab Fusion 技术 L&+XFntR
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