共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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QX|y};7\e S3.76& 2. 建模任务 }(Dt,F` fHR^?\VVp 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
FR? \H"'x }J|Pd3Q Sf
xHi.N*~D _/@u[dWeL 3. 聚焦区域的探测场 b]xE^zM-I`
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2(K@V6j$M kr>H,%3~ 4. 来自测试对象的直接反射 LV!<vakCK
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TjLW<D(i> Y>Tok|PV U6yZKK 5. 待测目标成的像 Hw
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GLE"[!s]f YK6zN>M}E 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 B4 +A
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hmM2c15T5 jltW@co2sV 7. 走进VirtualLab Fusion &_W~d0 JJVdq-k+`
;kb);iT vG'I|OWg 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 r%UsUj RSK5 }2 o%sx(g=q6 使用界面构造光栅
结构 ^M~Z_CQL2 = &"x6F.` 复杂
系统中的光栅建模
8m"jd+ B`?}jJa9* 正确设置通道以进行多通道
仿真 &^1{x`Qo= ~zph,bk •使用
参数运行检查影响/更改
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$BUm, %E*Q0/ 9. VirtualLab Fusion 技术 hG8<@
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