共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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Wvl>i HB @;}bBHQz{p 2. 建模任务 QRnkj]b VOBzB] 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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$ WA Fr ZCi~4&Z# 3. 聚焦区域的探测场 <@FOqi{o{
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.lfKS!m2 .Gv9RKgd~ 4. 来自测试对象的直接反射 5EDN 9?a
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LRBcW;.Su |R:gu\gG y0qrl4S)v 5. 待测目标成的像 UKp- *YukT FX7=81**4
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3o%,8l, 9;s:Bo 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 ^'i(@{{o\
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O{a<f7 W /]_T 7. 走进VirtualLab Fusion Mk"+*G %)T>Wn%b]v
cc7*O [Hz_x(t26 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 OiNzN.}d M>dP
1 XVAyuuTg\ 使用界面构造光栅
结构 ,ii*[{X? TSqfl/UI 复杂
系统中的光栅建模
9{|JmgO! $9<q'hf<w 正确设置通道以进行多通道
仿真 :@)UI, \#.,@g •使用
参数运行检查影响/更改
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!spp*Q)#\ P:h;" 9. VirtualLab Fusion 技术 {'VP_ZS1v
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