共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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?$O5w* )G(6=l* 2. 建模任务 Lh=~3 ^$][ah 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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a2 3. 聚焦区域的探测场 h]Zc&&+8{
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'-jKv=D+ ?Y"bt^4j 4. 来自测试对象的直接反射 I3Sl>e(Z
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ixJUq o .?SClTqg 7YRDQjg 5. 待测目标成的像 @LY 5]og oH+UuP2a-J
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`w Sg/ {d$S~ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 i_GE9A=h
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KmV>tn BQ GS{:7%=j 7. 走进VirtualLab Fusion 7YbI|~ u)P$xkf
^v3+w"2 OU=9fw 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 F~d
!Ub$> Ja-D}|; .<Z7K @ 使用界面构造光栅
结构 ?xf59mY7 | -Di/. 复杂
系统中的光栅建模
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+-e 正确设置通道以进行多通道
仿真 ;hs:wLVa" Fc}wuW •使用
参数运行检查影响/更改
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n#3y2,Ml {CH\TmSz 9. VirtualLab Fusion 技术 ^J>28Q\S
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