共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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EALgBv>#ZL kT4Oal+4 2. 建模任务 ]L9$JTGF`w CYN")J8V 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
[+>cW0a K6e_RzP,.w
3L-}B#tI THz=_L6 3. 聚焦区域的探测场 S01Bc
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Dt]*M_ LABLT;c 4. 来自测试对象的直接反射 _sC
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Z)RV6@( QHbjZJ
N SD=9fh0l 5. 待测目标成的像 WcKL=Z?( o 9{~F`{p
~"i4"Op&
^y3snuLtE (xlAS 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 46M?Gfd,X
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av4g/7= >e9xM Gv 7. 走进VirtualLab Fusion kY]^~|i6 ewp&QH4
+G[N
lb (}&O)3) 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 [Z{0|NR w[?E
oFI$Y GJbU1k] 使用界面构造光栅
结构 U+'h~P'4 _Sn7z? 复杂
系统中的光栅建模
7~7_T#dTh `=VN\W^& 正确设置通道以进行多通道
仿真 <jHo2U8/"s o%$'-N •使用
参数运行检查影响/更改
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(| X? g=_@j` 9. VirtualLab Fusion 技术 j5]6CG_
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