共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
\]uo^@$bm YS}uJ&WoF
e}Y|'bG
?m)3n0Uh 2. 建模任务 <f
l-P ebbC`eFD 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
a88(,:t -ejH%CT
gAy,uP~, ` |p3@e 3. 聚焦区域的探测场 (GLd"Zq
^ Vl{IsY
s!\:%N 4g}eqW 4. 来自测试对象的直接反射 NJEubC?
mk)F3[ke
__}j
{Buk
F_m[EB 9=(*#gRd ~ccwu 5. 待测目标成的像 ]fN\LY6p 83"Vh$&
/65ddt
(T1)7%Xs b%w?YR 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 [m>kOv6>^
_Y7uM6HL\
kPN:m ow aP}kl[W 7. 走进VirtualLab Fusion g\ r%A /8S g<
JLS|G?#0 SxC 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 7*bUy)UZ /D]?+<