共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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,vQkvuz J=/|iW 2. 建模任务 (tEW#l'} (jkjj7a 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
P%smX`v wX7B&w8wV
FXFQ@q*}v \z8TYx@ 3. 聚焦区域的探测场 =,I,K=+_x
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j Tqp' C+}uH:I'L 4. 来自测试对象的直接反射 K/Axojo
K:P gkc
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l\5qa_{z }6eWdm!B A0S6 4( 5. 待测目标成的像 lp?geav f7XmVCz1
XaD}J:X q
@ky5XV k+-u4W 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 &&[j/d}J
SR~~rD|V
wmY6&^?uS \u,hS*v0 7. 走进VirtualLab Fusion H5/%"1Q bM8b3,}?n
TA}gCXE
e u9m"{KnV 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 vK#xA+W P 2;j>=W blaxUP: 使用界面构造光栅
结构 05nG| wamqeb{u 复杂
系统中的光栅建模
2c!?!:s 50rq}- 正确设置通道以进行多通道
仿真 (q*T. qVJV 9n •使用
参数运行检查影响/更改
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Z\i@Qa +r )1J&tV*U 9. VirtualLab Fusion 技术 Fg5c;sls
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