共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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r~>,$[|n}) wkBL=a 2. 建模任务 j?-R]^-5 K5`Rk"s 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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URw5U1 BJ5}GX! 3. 聚焦区域的探测场 ;Z9IZ~
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*7RvHHf iM5vrz`n 4. 来自测试对象的直接反射 H~o <AmE0!
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}ZzLs/v%X c-8!#~M( @cv{rr 5. 待测目标成的像 RH[+1z8 SlaDt
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X3B{8qx_> Fn+?u 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 !w2gGy:I>
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euQ.ArF RiR:69xwR* 7. 走进VirtualLab Fusion *e/K:k &y\sL"YL!
s|-FH X ~uj;qq 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 4c159wsnQ 8)wt$b vAi$[p*im 使用界面构造光栅
结构 W?z#pV+jt >/^#Drwb!i 复杂
系统中的光栅建模
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Zyye%Ly 正确设置通道以进行多通道
仿真 0rE(p2 )/|6'L-2 •使用
参数运行检查影响/更改
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P Sx304 -iN.Iuc{b_ 9. VirtualLab Fusion 技术 51xk>_Hm}|
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