共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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~FP4JM,y6 %bN+Y' 2. 建模任务 O]-)?y/ c-GS:'J{ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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1s7{ ?l> <?i 3. 聚焦区域的探测场 Sg &0a$
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k)3b0T@b 9QXBz=Fnf 4. 来自测试对象的直接反射 D'8xP %P
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`{oFdvL~) ngt?9i;N V}Ok>6(~ 5. 待测目标成的像 MdC}!&W euMJ c
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>;K!yI?0 5i0vli/L 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 E%b*MU
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]lqe,> ;f!}vo<; 7. 走进VirtualLab Fusion ,q K'! p!o?2Lbiw
gcA,u)z}R I^GZ9@UE 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 L^FQ|?* r`\6+ Ntb. #?h-<KQQ 使用界面构造光栅
结构 W9rmAQjn H5eGl|Z5]^ 复杂
系统中的光栅建模
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r;m3) Q,LDn%+;B* 正确设置通道以进行多通道
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uj~(r=% h( DmSW 9. VirtualLab Fusion 技术 Jm`{MzqL
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