[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

<\g&%c,  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   B7MW" y  
     n;-r W;ZO  
2. 建模任务 \q|PHl  
k)V%.Eobf  
     5]l7Z35  
     O + & xb  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) J*!:ar  
tC:,!4 P$  
7$W;4!BN*  
   d$rUxqB.  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) A9Wqz"[  
;Ph)BY<  
/2Lo{v=0[  
     :V~*vLvR  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) t}k'Ba3]:Y  
~h
sl
LUE  
{IHK<aW  
      'Q>z**  
6. 3D仿真与结果对比 aiZo{j<6  
NJf(,Mr*|  
*P R_Y=v%  
L?27q  
7. 走进VirtualLab Fusion 6//FZ:q  
^;$a_$|  
$>ZP%~O  
     !NLvo_[Y  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 *;e@t4  
E(!6n= qR  
NS4'IR=;E!  
 构造光栅结构 |8c:+8  
- `m3QT3B  
 计算光栅结构内部的场分布 ),Ho(%T\  
Tj21YK.mk  
QrckTO  
(:-Jl"&R@  
9. VirtualLab Fusion技术 aXbNDj ][  
2\63&C^