wR@"]WkR= 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
MpCK/eiC drkY~!a 2. 建模任务 CtO;_;eD' 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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G[4$@{ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
W? SFtz :GBM`f@ 8~@?cy1j! 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !kG 2$/lR
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FbU98n+z \LbBK ~l-I 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -#agWqUM|T
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|08'd5 6. 3D仿真与结果对比 7,BULs\g
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&4}Uaxt) /Y_)dz^@ 8. VirtualLab Fusion的工作流程 1Ht&;V g*-%.fNA Xub<U>e;b 构造
光栅结构 *74VrAo -
ekV|a1) 计算光栅结构内部的场分布
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d(!g9H JK=0juv<E 9. VirtualLab Fusion技术 fnZ?YzLI n=1_- )