+\x,HsUc" 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
>u>5{4 "33Fv9C#bK 2. 建模任务 eP.wOl 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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EJj.1/]|r 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
H[m:0eF'5 ^/uA?h:]\ czA5n 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) WJ$bf(X*
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9Q.rMs>qj 09|K>UC)v 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i3dkYevs?
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oxC[F*mD :uP,f<=)K 6. 3D仿真与结果对比 =FlDb
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\}+_Fo/ -]L6= 8. VirtualLab Fusion的工作流程 Z.c'Hs+; 6q*9[<8 j -0z5|*KE 构造
光栅结构 A]<y:^2])C -
^({})T0wu 计算光栅结构内部的场分布
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E08klC0 G(Lzf( 9. VirtualLab Fusion技术 \O}E7- FI[A[*fi