u}$?r\H'( 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
F
1BPzRo` :mij%nQ>$ 2. 建模任务
d%<Uh(+: 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
6i%)'dl
WVVqH_ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
^;'3(m= z~F!zigNAc 9T\:ID=h 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?/;<32cE,
\ZA%"F){
wi!Ml4Sb
H='`#l1 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) mesR)fTI
8u>E(Vmpu
+m"iJW0 RtSk;U1 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) PffRV7qU0
#JVcl $0Y
yCwQ0| ]_-<[0 6. 3D仿真与结果对比 [hs{{II
$]O\Ryf6
"B.l j) pJ{sBp_$ 7. 走进VirtualLab Fusion %;gD_H4mm
L%!jj7,9-
)yjHABGJ sx6`
g; 8. VirtualLab Fusion的工作流程 K]RkKMT, L./UgeZ rK];2[U 构造
光栅结构 $Cte$jg{; -
7[Y<5T] 计算光栅结构内部的场分布
%hY+%^k. tL D.e
TK'(\[E $L?stgU 9. VirtualLab Fusion技术 &0M^UvO ^58'*13ZL