[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   v62O+{  
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2. 建模任务 &upM,Jsr*  
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3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) pS6p}S=1]  
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4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) S;L=W9=wby  
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6. 3D仿真与结果对比 x,81#=m^h  
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7. 走进VirtualLab Fusion l2Pry'3  
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8. VirtualLab Fusion的工作流程 Z`]r)z%f  
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 构造光栅结构 2&o jQhe  
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 计算光栅结构内部的场分布 "&Rt&S  
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9. VirtualLab Fusion技术 OC=g 1  
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