S :bC[} 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
FMw&( \2C`<h$fN 2. 建模任务 Wp0
Dq( 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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]lO h&Cz[ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
3_$w|ET Q \hY7Xq' NH A 5e< 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !CTxVLl"F
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`)iY}Iu -Z-f1.Dm5 6. 3D仿真与结果对比 YZf6|
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ZP\M9Ja =8Jfgq9E 7. 走进VirtualLab Fusion Dim>
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光栅结构 n.MRz WJpZ -
>SF Uy\3 计算光栅结构内部的场分布
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5|0,X<& S{t +>/ 9. VirtualLab Fusion技术 7cP@jj r|Z3$J{^"