[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

d9S/_iCI  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   i0{\c}r:4b  
     .?6p~  
2. 建模任务 f5 bq)Pm&  
ulsU~WW7r  
     #b;?:.m\=  
     h s'
,f  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 8C3oi&av/{  
$XQgat@&]  
{4 Yxh8  
   ~NK $rHwi%  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 0V<kpC,4  
nu\AEFT  
Py v>  
     |-V:#1wR.]  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) DehjV6t  
a4ViVy  
X,w X)9]J  
     X\;:aRDS  
6. 3D仿真与结果对比 .hx(9  
6Pl|FIJF  
GxzO|vFQ  
HU>>\t?d  
7. 走进VirtualLab Fusion 4E.9CjN1>  
PyfWIU7O  

+ytP5K7  
     fhN\AjB6Td  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 Q8`V0E\~  
Dazm8_x  
/o4e n  
 构造光栅结构 ;&=jSgr8  
- 2*75*EQCH  
 计算光栅结构内部的场分布 nV8'QDQ:Al  
-& (iU
#W  
By@65KmR"  
0+iRgnd9?  
9. VirtualLab Fusion技术 FUL3@Gb$UV  
j.]]VA