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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    c^1JSGv  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   89D`!`Ah]  
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    2. 建模任务 #S/~1{   
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?:60lCqj  
    g~K-'Nw  
    UV;I6]$}A7  
       cp8w _TPU  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) /rD9)  
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    7YTO{E6]d\  
         E5P.x^  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) t"%~r3{  
    -M]/Xv]  
    5?>Q[a.Ne  
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    6. 3D仿真与结果对比 fy>3#`T-  
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