P2p^jm
在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
7S`H?},sR la4,Z 2. 建模任务 kC0!`$<2f) 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
g)9/z
LZVO9e] 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
[jw o D %)D7Dr 54{"ni2a 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) LTe7f8A
K)?^b|D
0- UeFy JdHc'WtS!| 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) :tqjm:
W!k6qTz)
Mb>XM7}PU @_Zx'mTI 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ge[i&,.&z
o^?{j*)g
Cf7\>U-> rd))H 6. 3D仿真与结果对比 v#|c.<].
N:: ;J
"{_"NjH 4m*(D5Y=| 7. 走进VirtualLab Fusion pJz8e&wyLM
IJ8DN@w9
\bOjb\ w$ r!^\Q7 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ,#T3OA!c** d_+8=nh3 6bcrPf} 构造
光栅结构 ,[\(U!Z7:% -
\6 hL W_q1 计算光栅结构内部的场分布
0EOX@;} F9\Ot^~
{1aAm+ 4E>(Y98 9. VirtualLab Fusion技术 Rda1X~-g "yTh + =