vr"Pr4z4i 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
bD/ZKvg #|+4 `Gf^ 2. 建模任务 L[:AU e 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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\^pc"?Rc 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
}UcdkKq jLn#%Ia} RIUJX{? 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [So1`IA6
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G*_]Lz(N =mX26l`B 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) T9J&^I
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'Qg!ww7O -B/'ArOo] 6. 3D仿真与结果对比 IDf\!QGx
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`<~=6H 7. 走进VirtualLab Fusion WZHw(BN{+
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4 7mT %t6-wWM97 8. VirtualLab Fusion的工作流程 $"(
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光栅结构 )l!
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i?b9zn XUVj<U 9. VirtualLab Fusion技术 $nW9VMa f|_\GVW