[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

QPnc "!  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   y\x<!_&D  
     |Z;Av%%  
2. 建模任务 !=pemLvH  

Sk-Ti\  
     bmLNR  
     <Bwu N,}  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) #@G2n@Hj  
Sl1N V  
qyto`n7  
   W7 $yE},
z  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) {#MViBhd%  
d hy=x  
& CgLF]  
     k6XO-a f  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?d 4_'y   
_B2t|uQ  

8}&cE#@  
     +x`tvo  
6. 3D仿真与结果对比 ETtR*5Y 5  
XB?!V|bno  
I`|>'$E[r  
.*,ZcO  
7. 走进VirtualLab Fusion r*Mm5QozA  
T!n<ya
!  
I('l)^m%  
     Oe?nX>  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 fN9hBC@  
F#hM S<  
pP .   
 构造光栅结构 *+G K?Ga  
- /cg!Ap5  
 计算光栅结构内部的场分布 A/MOY@%G  
,xiRP$hGhh  
OA8pao~H  
wGB'c's*  
9. VirtualLab Fusion技术 eWFlJ;=  
*oF{ R^