Lx(Y= 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
6Lz&"C,` GL
(YC-{ 2. 建模任务 i;Gl-b\_h 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
WI~';dK2]
m2\ZnC 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
33
N5> } a*vi&$@`Z1 -<CBxyZa& 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?K}/b[[0v
h`jtmhoz
)8P<ZtEU
b/2t@VlL 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) |ss_<
];(w8l
/A{znE "9R3S[ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Tw|=;m
PBkKn3P3
F#W'>WBU 'fZHtnmc0 6. 3D仿真与结果对比 "rkP@ja9n
6``!DMDt/P
_.\p^ HM j>P>MdZtk 7. 走进VirtualLab Fusion lgre@M]mg
o3%Gc/6%
G$`/86A ) {wCQ#V 8. VirtualLab Fusion的工作流程 -CxaOZG K{"(|~=U p?5`+Z 构造
光栅结构 ?2DYz"/') -
\W#M]Q 计算光栅结构内部的场分布
X@jml$;$ T2^@x9
>'E'Mp. i wK,XnIR 9. VirtualLab Fusion技术 7pr@aA"vgj S,qsCnz