7lYf+&JZ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
?pQ0*
O0 zBca$Vp 2. 建模任务 OtAAzc!dQ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
tHqa%
j<WsFVS 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
B{`K?e0 ENA"T-p $2]>{g 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) v"Bm4+c&0
?1|\(W#
Cw!tB1D uQ
]ZMc 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Yx66Xy
|U'` Sc
"\lOOp^- WOgkv(5KN 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) e~he#o[%a
1"t9x.
F1}d@^K
7d .LM|@OeaD! 6. 3D仿真与结果对比 ]w*` }
RHd no C
"J&WH~8+N Fv(FRZ) 7. 走进VirtualLab Fusion :rk6Stn$z
E>|fbaN-%
D{6BX-Dw. J}-e9vK-# 8. VirtualLab Fusion的工作流程 <v\$r2C* 0}`
-<( /Aw@26 构造
光栅结构 <h|&7 -
#
dUi[' 计算光栅结构内部的场分布
=~,2E;#X S%?%06$
W}k/>V_ 1JOoICjB 9. VirtualLab Fusion技术 n%}#e! [Ak0kH>