nqLA}u4IM 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
iX)%Q :0h_K 2. 建模任务 o"*AtGR+" 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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kh`"WN Nt 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
D*lKn62 K.0:C`C 2k=#om19 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ^pUHKXihD
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#'y#"cmQ. aTt12Sc 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) I"GB<oB
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b9l;a+]d Y=Kc'x[,Zj 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) P?k0zwOlBl
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/{&tY:;m 62zYRs\Y)X 6. 3D仿真与结果对比 ;5)P6S.D
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,'u W*kx @<elq'2 7. 走进VirtualLab Fusion }|pwz
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r [*Vqcz 0.@&_XTPl 8. VirtualLab Fusion的工作流程 \RG8{G, 5;YMqUkw jWrj?DV,2N 构造
光栅结构 LA}Syt\F -
6}FP 计算光栅结构内部的场分布
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s*-n^o- I+tb[*X+ 9. VirtualLab Fusion技术 )% ~OH :qd`zG3