ja2]VbB 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
]Ox.6BKjDP TW0^wSm 2. 建模任务 =qvU9p2o 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
BoqW;SG$9
K~>kruO"; 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
urB.K<5ZA {xX|5/z )J0VB't 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) G#Ow>NJ
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HApP*1J^c C*!_. <b 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) n6}1{\
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%XeU4yg\e d\f5\Y 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) z6qC6Ck|
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PhS"tOGtX "$&F]0 6. 3D仿真与结果对比 49m/UeNZ
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T9^i#8-^ C&T3vM 7. 走进VirtualLab Fusion 4C:YEX~
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光栅结构 WJ*DWyd'' -
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