b/sOfQ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
-F"d0a, vpm ]9>1[ 2. 建模任务 D=r- 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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$%g\YdC 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
\6 \hnP (2z%U ybZ} 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) of8mwnZR
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6|,e% .i$,}wtw 8. VirtualLab Fusion的工作流程 16I&7=S, UqN{JG:#. [UM Lx 构造
光栅结构 7p^@;@V -
|GtY*| 计算光栅结构内部的场分布
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cVp[ Z#B vYDSu.C@a 9. VirtualLab Fusion技术 R|iEv t m}98bw