o:ow"cOEf 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
r vq{Dfo= qzO Rv 2. 建模任务 qvo!nr7 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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{ixKc 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
k=kkF" bXOM=T -a>CF^tH 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) X6Z/xb@
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=to.Oa RR {na>)qzKP 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) vv2[t
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MtPdpm6\ X=f %! 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) :oW 16m1`
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/SM 7t_ H)Me!^@[D 6. 3D仿真与结果对比 @N<h`vDa
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光栅结构 m*B4a9f -
?5B?P:=kl 计算光栅结构内部的场分布
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