2BGS$$pP 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
)*CDufRFz BPwn!ii| 2. 建模任务 C-:lM1 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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YTk"'q- 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
oR1HJ2>Z1 6 o!*bWh dln1JZ! 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ;WqWD-C
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Z6S?xfhr'{ f7y3BWOi] 6. 3D仿真与结果对比 [vV5@nP:
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&$V&gAN Pf/_lBtL 7. 走进VirtualLab Fusion U%?
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PCkQ hR )b7 ;w#%q 8. VirtualLab Fusion的工作流程 /]@1IC{Lk n]Z() "D YKV?I
构造
光栅结构 IBn+42V -
:5DL&,,Q3 计算光栅结构内部的场分布
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i* }Tz<fd/ 9. VirtualLab Fusion技术 u6lcl}' M. o}?