[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

SM'|+ d  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   y-k.U%  
     e.>P8C<&  
2. 建模任务 4*L_)z&4;  
wY#E?,  
     K'bP@y_cq  
     w]H->B29C  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) :/#rZPPF  
'F<TSy|4kI  
a#4?cEy  
   dG{A~Z z  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) :h$$J lP  
Wzh
`or  
vdZW%-A&\  
     m*pJBZxd  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 2T35{Q!=F  
8y L Y  
-"`=1l  
     f 2.HF@  
6. 3D仿真与结果对比 3<!7>]A  
Wri<h:1  
)UR7i8]!0  
%;_MGae  
7. 走进VirtualLab Fusion :]KAkhFkbb  
KwS@D9bok  
.3;;;K9a~]  
     KHme&yMq  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 TxD#9]Q`  
+2{Lh7Ks  
Oz95  
 构造光栅结构 Nc`L;CP  
- /7kC<  
 计算光栅结构内部的场分布 }OUtsh]y  
#] QZ  
0;k# *#w  
cr3^6HB  
9. VirtualLab Fusion技术 <YY14p  
u_enqC3