*\ZK(/V 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
z2p@d1 qk!")t 2. 建模任务 M_asf7|v 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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J<J_yRg2 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
yU'Fyul P?D;BAP2 5R"My^G 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) %6c[\ubr
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rBR,lS$4 /sHWJ?`&/, 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) )w\E^
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x`:zC# #J&45 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5>{
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HAa$pGb ~m4{GzB 6. 3D仿真与结果对比 c!#DD;<Q
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m^hi}Am1 =^ 7. 走进VirtualLab Fusion s az<NT
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%-u Ra\ cO}`PD$i 8. VirtualLab Fusion的工作流程 gr]:u4} ca~nfo T.m*LM 构造
光栅结构 eAvOT$ -
}@VdtH 计算光栅结构内部的场分布
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)L^GGy8w #9=as Y 9. VirtualLab Fusion技术 ZV :cgv kTJz .