b#R$P]dr= 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
.w'b%M lNl.lI\t)y 2. 建模任务 #kA?*i[T 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
kGYsjhL\d
Z:es7<#y 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
~*<`PD O? 99CK [G FK`:eP{ 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) +{C)^!zBK
\sfc!5G
iHK.hs; "?lz[K> 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) zufsmY4P
p
.P#S
p<}y'7( tE <?L 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) #y[omla8
@^ *62
,2+d+Zuh MNb9 ~kM 6. 3D仿真与结果对比 CDsl)
T?6<1nU)
e6
x#4YH +v:]#1 7. 走进VirtualLab Fusion >VQLC&u(
|@yYM-;6
k;2.g$)W[c =&qH%S6 8. VirtualLab Fusion的工作流程 '
i<4;=M& >goHQ30: 4VwMl)8ic 构造
光栅结构 :N"&o(^ -
p]/[ji 计算光栅结构内部的场分布
23`salLclG b-#lKWso
yXv@yn O8_!!Qd 9. VirtualLab Fusion技术 .XiO92d9 $`ptSR