[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

G=A,9@+c  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   hrhb!0  
     ui@2s;1t  
2. 建模任务 9Iz%ht  
-$WYj"  
     k5C@>J  
     bIEhgiH  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ^8@Iyh
  
MHsc+gQiz  
QNxl/y\l0  
   )I$q5%q8  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Vgyew9>E  
NsJ(`zk:  
"B8"_D&  
     ,iv|Pq$!  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6+KHQFb&N  
TW9WMId  
|7}CQU  
     N1}={yF.fQ  
6. 3D仿真与结果对比 K%X^n>O7C  
HH@qz2w  
r?*NhLG;  
i7utKj*57  
7. 走进VirtualLab Fusion NbGV1q']  
y
:h}z).  
C,pJ`:P  
     0#YX=vjX7  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 OLvcivf  
@;H,gEH^  
]/B$br'O{?  
 构造光栅结构 f4guz  
- sPb=82~z  
 计算光栅结构内部的场分布 =pk)
3<GwF  
%bD}m!  
}Iz7l{al  
~2zMkVH  
9. VirtualLab Fusion技术 ,+ #6Y_  
DVkB$2
]