n>eDN\5 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
;/4x.t#b &Lzd*}7 2. 建模任务 "eTALRL'o 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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+\ "NPK@3 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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H6nH 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) PeiRe
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l0t(t*[Mj oBub]<.J 6. 3D仿真与结果对比 eF7I5k4
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光栅结构 kQ&Q_FSO -
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