fIm=^}?fwK 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
yu@u0vlc _$BH.I 2. 建模任务 U~YjTjbd 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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IltU6=]"l 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
,S\AUUt% k{w ]:F?k#c 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) EGJrnz8
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8PwPI%Pb so@wUxF 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -JfO} DRI
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\ !DNk!]| 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) LCkaSv/[RB
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<-Q0s%mNj, 6. 3D仿真与结果对比 UA}N
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_D 8. VirtualLab Fusion的工作流程 +a!uS0fIJi Sx}61 ? px=r~8M9} 构造
光栅结构 o`}(1$a> -
`} :~,E 计算光栅结构内部的场分布
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