[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

MVU5+wX  
u9rlNmf$  
k L2(M6m  
I=X-e#HM?  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 j(mbUB*  
@ROMHMd}  
建模任务 $wUFHEl  
MkZm =Sf  
kFmd):U!R  
y&Sl#IQ L  
微结构 CrC1&F\dq  
F2!C^r,~L  
4]O{Nko)  
l<qK' P4  
{#N](yUm  
"1>I/CM  
=!m5'$Uz>  
$6.CN#  
IFNs)*  
微结构组件的配置 ;$Q`JN=  
w1B!z  
?_q e 2R.  
X[b=25Ct  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 E>f+E8?  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 j#d=V@=a  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 vc
s=!Ace  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 U<J4\|1?7'  
\xG>>A%  
总结-组件… OcQ>01
Q  
NXsDn&&O  
(@*[^@ipV  
>2l1t}"\  
(#GOXz  
     wJM})O%SQ  
监测器平面上的衍射图案 |?{3&'`J8w  
Q!8AFLff4  
,>lOmyh  
h<2o5c|  
监测器平面上的衍射图案 heJI5t,  
S~L$sqt  
-(9>{!",J  
=TKu2  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 `>&V_^y+  
$qG;^1$  
高度缩放调制 9r.Os  
}&A!h  
9}^nozR,I  
qYFOHu  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 vw VeHjR  
l&l&
eOE  
NrH2U Jm  
P34UD:  
VirtualLab Fusion技术 d_s=5+Yj  
"F?p\I)(