[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 +pf 7  
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建模任务 ?\c*DNM'  
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微结构 uX.Aq@j  
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微结构组件的配置 N4HnW0  
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- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 "h:xdaIE/p  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 [0J0<JnK  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 E"u>&uPH  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 hP9+|am%  
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总结-组件… H 5sj% v  
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监测器平面上的衍射图案 T_\GvSOI  
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监测器平面上的衍射图案 }1(F~6RH  
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分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 MNJ$/l)h  
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高度缩放调制 q$H'u[KQ06  
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探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 [m('Y0fwO^  
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VirtualLab Fusion技术 [qid4S~r,&  
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