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5w9oMM { A_pcv7=@ 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
a_V.mu6h6p c.?+rcnq 建模任务 ^X\{MW'>4
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*B*dWMh w~a_FGYX 微结构 EJByYk
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微结构组件的配置 A< *G;
<#ZDA/ G(
$ T2 n^yz S(NUuu}S - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
w+Oo-AGNH - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
gPf^dGi7t - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
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- 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
R64 /m9 D//uwom 总结-组件…
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JQO%-=t :G/.h[\R| 监测器平面上的衍射图案 ,0fYB*jk
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1k39KO@ 监测器平面上的衍射图案 8 aC]" C
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<pp<%~_Z 48W-Tf6v| 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
B `;DAs mT <uL0 M`u3 高度缩放调制 $8t\|O3
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O ]Stf7]%; K4|{[YpPB 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ,]. S~6IM
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[*2|#KSCX qE)G;Y<,1 VirtualLab Fusion技术 y|O)i
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