[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

tW5\Ktjno  
#1Mk9sxo  
Y0B
vN`E  
O;[PEV~  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 A{h hnrr8  
dgssX9g37  
建模任务 <mHptgd
,  
LoHWkNZ5:  
gT @YG;  
d;S:<]l'  
微结构 1W~-C B>  
0!=e1_  
OdQ>h$ gZ  
^FgNg'"[3  
OfTcF_%  
fLI@;*hL0  
qU8UKIP  
N(Y9FD;H  
{EJVZG:&  
微结构组件的配置 Tp`)cdcC[  
ZC"6B(d  
m?<8 ':  
`m<="No  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 =@pm-rI|-  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 yE9JMi0  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 i?=3RdP/R1  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 rShi"Yw  
C*Ws6s>+z  
总结-组件… QX%m4K/a  
u;J=g  
y=h2_jt  
q,nj|9
z V  
"]c:V4S#`A  
     ?[!.TU?4N  
监测器平面上的衍射图案 6FEtq,;0w  
2IjqTL  
tB(Q-c  
VPN@q<BV  
监测器平面上的衍射图案 f~Kln
^  
q<c).
4  
KD,b.s  
=m}{g/Bk  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 U^pe/11)H  
}d.R=A9L
 
高度缩放调制 K:'pK1zy  
S}Mxm2  
1&jX~'  
s ^)W?3t]  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 B/5CjHz  
@.0jC=!l  
L7D'wf  
?Fi-,4  
VirtualLab Fusion技术 a S<JsB  
 h@W}xT