[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

'Z ,T,zW  
`]\:%+-  
UA$Xa1  
ik Pm,ZN  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 M8iI e:{ c  
V( bU=;Qo  
建模任务 K18Sj,]B  
k4Ub+F  
u&s>UkR  
k&8&D  
微结构 3tIno!|  
[d/uy>z,  
C'Z6l^{>  
,zU7UL^I  
@E@5/N6M  
|FrZ,(
\  
t+`>zux5(T  
8ECBi(  
dqo&3^px  
微结构组件的配置 l4`HuNR1  
[n{c,U F  
-McDNM
 
#K_E/~  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 8{iFxTz  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 I&Y9  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 Oe:_B/l  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 0?d}Oj  
#_}r)q  
总结-组件… U>jLh57  
#+]-}v3  
o\7q!  
KOM]7%ys1H  
pswEIa  
     C~#ndl Ij  
监测器平面上的衍射图案 4+j:]poYG{  
;]+p>p-#  
Ko|p&-Z;  
sLh %k  
监测器平面上的衍射图案 #>/stU-  
k%S;N{Qh@  
^~:&/0  
1}"PLq(  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 pJpTOq\h  
W n43TSs-  
高度缩放调制 uEPdL':}2  
;$= GrR  
6EeK5XLf,  
_YM]U`*  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ^w*$qzESy  
AJ`R2 $  
-w#Hy>E  
PC3-X['[  
VirtualLab Fusion技术 !WD~zZ|  
CF?TW