[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

dbfI!4  
TWU1@5?Ct  
dEfP272M  
|qb-iXW=  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 K# h7{RE  
r,ep{ p  
建模任务 _j]vR  
=@.5J'!  
"=UhTE  
R'aA\k-  
微结构 2XV3f$,H  
KvlLcE~
`o  
HG)h,&nc-  
jk5C2dy  
qhNYQ/uS  
nk+9J#Gs  
- S%8  
BSg3  
IR"=8w#MP  
微结构组件的配置 /?:q9Wy  
9<"l!noy  
xOc&n0}%  
gm}zF%B"  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 *YWk.  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 4M>EQF&  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 s5oU  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 x-SYfvYY  
BtKbX)R$J  
总结-组件… S{JBV@@tC  
trL8oZ6  
h\*I*I8C  
;})so  
TL([hR _  
     6"La`}B(T8  
监测器平面上的衍射图案 /XwwB  
j.UO>1{7  
s@|TQ9e |j  
kSO:xS0 _N  
监测器平面上的衍射图案 ASaNac-3  
;V4f6[<]'z  
tnC,1HV0[  
oqy}?<SQ  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 "@@Z{  
e",0Er FT  
高度缩放调制 @%[ VegT  
>Q|S#(c  
PYW>  
?.,2EC=+  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 x: 2 o$+v3  
9C\@10D  
.0]Odf:@  
(J`EC  
VirtualLab Fusion技术 X8(Ws
N  
d]Mjr2h