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yWk:u 5 ; S27m]Q? 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
{Om3fSk: &>4$ [m>n 建模任务 uOUw8
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os ud H.~+{jTr 微结构 kV%y%l(6
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EMH}VigR { 3P!b|V> Y k6WSurw F qyJ*W\1 }33Au-%* Ds5&5&af 微结构组件的配置 8>+eGz|
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t$D[, $G9 @].aFhH`) - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
1fp&"K:yR - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
]V\ g$@ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
EqwA8? M - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
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4H[k ?& ^l8gE 总结-组件…
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n8C {Okr %['F[ M o 监测器平面上的衍射图案 5Z0x2 jV
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:P'5_YSi s A j$U^Gp 监测器平面上的衍射图案 BNLall
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Ho9*y3] wOSNlbQ5jl 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
$(hZw 1 6{;24 高度缩放调制 ,peFNpi
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v8=MO:>{R S+ x [1#r 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ]vG)lY.=
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