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u~d&<_Z U_,K_6vj 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
V_7xXuM/ r\66]u[ 建模任务 (gv
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#[#dc]D 4==Lt Ep 微结构 =1vVI Twl
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Wh> Y_ k p{Gg,.f!HM Rx=pk W\<5'9LNb 62LQUl ]< 0IM# T=V 微结构组件的配置 Vkb&'
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uNY]%[AnJ .tb~f@xL - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
br'/>Un" - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
w,.Hdd6 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
" ,rA - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
uL4 @e m,TqyP# 总结-组件…
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zj;y`E Nj y6?Q5x9M 监测器平面上的衍射图案 c(Aj M9s
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BWX&5"" 4p~:(U[q 监测器平面上的衍射图案 e"|9%AW@<
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Ahq^dx#o s}9aZ 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
}Gz"og*8 Phgn| 高度缩放调制 uYMW5k_,>
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1^zF/$% <$njU=YE& 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 3P6!j
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