[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

4D
$E  
|@|D''u>6  
qeGOSGc_  
9V!K._Cb  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 KWMH|sxO=  
0CYI,V  
建模任务 AkC\CdmA  
@@&;gWr;  
XA%?35v~  
"0mR*{nF  
微结构 D=]P9XDvb.  
eU*hqy?0  
5=e@yIr'#  
A":x<9   
=p:6u_@XWj  
lPP7w`[PA  
v\u+=}rl  
1's^W  
Ado>)c"*y1  
微结构组件的配置 C%h_!z":  
iLei-\w6y  
d7Z\  
rv>6k:(  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 +bU(-yRy5o  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 I(|{/{P,  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 7="V7  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 [;
+YO)  
PeZ=ONY5  
总结-组件… ]RJ2`xf  
DoA f,9|_  
lC{m;V2  
6|x<)Gc  
n&lLC&dL  
     HH+XEMP/g  
监测器平面上的衍射图案 f.WtD`Oas  
M_Dk
juR  
XCY4[2*a>  
NaIVKo  
监测器平面上的衍射图案 pw .(6"  
;+\;^nS3d  
p*G_$"KpP  
]b)(=-;>  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 oUH\SW8?  
b $!l*r  
高度缩放调制 <@P0sd   
u Wtp2]A  
v~SN2,h  
l}{O  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 e3.TGv7=  
Aka`L
:k  
\%(R~H  
uPpP")  
VirtualLab Fusion技术 5 m:nh<)#  
d)@MMF