[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

mR6hnKa_53  
/L?
ia  
t bEJyA  
|(\T;~7'  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 r5S5;jL%t  
xC+TO  
建模任务 eJwHeG  
|KLCO'x  
j
$Z:S~*  
:92
7y  
微结构 ?."YP[;  
+1=]93gP  
wmnh7'|0u  
>crFIkOJ  
yRv4,{B}X>  
/[RO>Z9  
==)q{e5  
n!$zO{P  
C6{\^kG^j2  
微结构组件的配置 $;%k:&\f  
7F@#6  
sw$$I~21  
K)[DA*W  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 G=l-S\0@  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 pDV8B/{  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 |g,99YIv>  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 GP{$w_'!J0  

Usz O--.C  
总结-组件… >#~>!cv6D  
SM8Wg>  
!b4
v}70,  
"9bd;Tt:  
FH7h?!|t  
     C 5 xsh  
监测器平面上的衍射图案 mfCp@1;26  
^M6R l0  
fobnK~2  
e .1! K  
监测器平面上的衍射图案 <b#1L  
Dlqvz|X/  
S";c7s  
7w51UmO  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ^LAnR>mz^r  
]wm<$+@  
高度缩放调制 >7,?X_:A-1  
^Cy=L]  
Q"F" 13  
^ZPynduR  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 5/YGu=
,  
_2 oZhJ  
:Fh#"<A&&  
(bp
4ly^  
VirtualLab Fusion技术 ;fe~PPT  
7 F> a&r