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Lu.-N [v& _MQ 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
ht-6_]+ME XNl!(2x'pb 建模任务 Kfr?sX
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`2Z= Lp $ OR>JnV 微结构 YA|*$$
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DO6J '(Bs<)(H Vy? w,E0^: j C@^/rMh 5_O.p3$tV FJ!>3V;} 微结构组件的配置 Pf!K()<uJ
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~<eiWDf (0][hdI~B - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
QO,y/@ Ph - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
B%t^QbU #\ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
v
;9s - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
jv7zvp Vr^wesT\Hx 总结-组件…
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F U 监测器平面上的衍射图案 s810714
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x?%vqg^r W t8 RC 监测器平面上的衍射图案 'Hg( N?1"
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d?0 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
%mq ]M o0/ 03O 高度缩放调制 A ssf
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X=JSqO6V9 m$ o|s1t 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 wF% XM _M
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