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)rIwqUgp6\ rET\n(AJ 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
aL\PGdgO ^`i#$ 建模任务 [Q~#82hBhY
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X;+sUj8 xJpA0_xfG 微结构 B6+khuG(
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3oj' y txN 4!{KWL `A J'6PmPzY| tH@Erh|% ^cC,.Fdw 3GYw+%Z] 微结构组件的配置 +%z> H"J.
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PudS2k_Qv -a}Dp~j - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
[-1^-bb - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
=osk+uzzG - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
8.1c? S - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
,$ L4dF3 kOrZv,qFG[ 总结-组件…
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oAVnK[EMq` J$DE"| - 监测器平面上的衍射图案 ;6
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监测器平面上的衍射图案 LKB$,pR~1l
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)T2Caqs 2 3BUSv#w{i 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
r.&Vw|*> VQt0 4? 高度缩放调制 `Uy G_;
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kd(8I_i@ >z>!Luw 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 BoWg0*5xb
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VirtualLab Fusion技术 ~rKrpb]ow
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